[发明专利]基板搬运装置及基板载置部的旋转轴的探索方法

权利要求书

1.一种基板载置部的旋转轴的探索方法，其特征在于，

是利用机器人基准轴被规定，且具有对遮挡检测线的物体进行检测的物体检测传感器及在与所述机器人基准轴的轴心方向正交的平面内移动所述物体检测传感器的机器人臂的基板搬运机器人，来探索以与所述轴心方向平行地延伸的旋转轴为中心进行旋转的基板载置部的所述旋转轴的方法；

与所述轴心方向正交且通过连接有所述物体检测传感器的所述机器人臂的远位端部和所述机器人基准轴的直线被规定为臂基准线，与所述轴心方向正交且通过所述旋转轴和目标的直线被规定为载置部基准线；

在所述基板载置部的多个旋转位置上，通过所述物体检测传感器检测设置于所述基板载置部的目标，求出从所述机器人基准轴至所述目标的与所述轴心方向正交的方向的距离即指标长度或与其相关的信息； 基于求得的所述指标长度或与其相关的信息，求出所述载置部基准线与所述臂基准线平行的，所述载置部基准线的以所述旋转轴为旋转中心的第一载置部旋转位置，及所述臂基准线的以所述机器人基准轴为旋转中心的第一臂旋转位置；

基于求得的所述指标长度或与其相关的信息，处于所述第一载置部旋转位置的所述载置部基准线和处于所述第一臂旋转位置的所述臂基准线向相同方向以相同旋转角度旋转，由此求出所述载置部基准线的延伸方向与所述臂基准线的延伸方向一致时的，所述检测线的以所述机器人基准轴为旋转中心的第二臂旋转位置及所述基板载置部的以所述旋转轴为中心的第二载置部旋转位置的至少一方；

基于求得的第二臂旋转位置及所述第二载置部旋转位置的至少一方，对从所述机器人基准轴观察到的所述旋转轴所在的方向进行特定。

2.根据权利要求1所述的基板载置部的旋转轴的探索方法，其特征在于，

基于检测到位于连结所述机器人基准轴与所述旋转轴的直线上的所述目标时的所述指标长度和从所述旋转轴到所述目标的已知的距离，求出从所述机器人基准轴到所述旋转轴的距离。

3. 根据权利要求1所述的基板载置部的旋转轴的探索方法，其特征在于，还包括：

使所述载置部基准线在所述第一载置部旋转位置并使所述臂基准线在所述第一臂旋转位置的步骤；以及

使所述载置部基准线从所述第一载置部旋转位置到所述第二载置部旋转位置并使所述臂基准线从所述第一臂旋转位置到所述第二臂旋转位置的步骤。

4.根据权利要求1所述的基板载置部的旋转轴的探索方法，其特征在于，

求出所述第一载置部旋转位置的步骤包括：使所述臂基准线保持在所述第一臂旋转位置，并探索所述指标长度相等的所述载置部基准线的两个旋转位置，以该两个旋转位置的中央的旋转位置为所述第一载置部旋转位置。

5.根据权利要求1所述的基板载置部的旋转轴的探索方法，其特征在于，

求出所述第一载置部旋转位置的步骤包括：使所述臂基准线保持在所述第一臂旋转位置，并探索所述指标长度最小的所述载置部基准线的旋转位置，以该旋转位置为所述第一载置部旋转位置。

6.根据权利要求1所述的基板载置部的旋转轴的探索方法，其特征在于，

求出所述第二载置部旋转位置的步骤包括：使处于所述第一臂旋转位置的所述臂基准线以所述机器人基准轴为中心，使处于所述第一载置部旋转位置的所述基板载置部以所述旋转轴为中心，分别向相同旋转方向以相同旋转角度旋转，探索所述指标长度相等的两个旋转位置，以该两个旋转位置的中央的旋转位置为所述第二载置部旋转位置。

7.根据权利要求1所述的基板载置部的旋转轴的探索方法，其特征在于，

求出所述第二载置部旋转位置的步骤包括：使处于所述第一臂旋转位置的所述臂基准线以所述机器人基准轴为中心，使处于所述第一载置部旋转位置的所述基板载置部以所述旋转轴为中心，分别向相同旋转方向以相同旋转角度旋转，探索所述指标长度最大的旋转位置，以该旋转位置为所述第二载置部旋转位置。