[发明专利]非破坏检查方法

说明书

在使用种类不同的多个非破坏检查单元来检查检查对象时，简单并且准确地对齐在该各非破坏检查单元的检测结果中确定的检查对象上的位置彼此。在使用种类不同的多个非破坏检查单元来检查检查对象时，在检查对象(1)上固定地形成在多个非破坏检查单元中的任何一个非破坏检查单元中都能够检测的共用的标记(m1、m2、m3)，之后，通过多个非破坏检查单元中的每一个检测包含标记的检查对象，并以标记为位置基准对照多个非破坏检查单元的检测结果彼此。

技术领域

本发明涉及非破坏检查方法。

背景技术

有想要使用种类不同的多个非破坏检查单元，来进行检查对象的检查，例如通过X射线拍摄装置(X射线塔尔博特拍摄装置等)和磁场分布测定装置来检查锂离子电池(以下为“LIB”)的情况。通过X射线拍摄，能够知道LIB内部的结构的故障、异物的有无、位置。另外，通过磁场分布测定，能够将LIB内部的电流分布可视化，并能够知道漏电电流的大小、漏电位置。

在实际检查中，不单独地以各自的结果判断，需要将双方的检测结果组合多方面地进行判断。例如，存在即使通过X射线拍摄发现了异物，如果其未导致漏电，也认为没问题的情况。或者在有漏电的情况下，存在能够通过该部分的X射线拍摄掌握是什么原因等，能够对双方的检测结果进行组合来多方面地进行判断的情况。

在基于种类不同的多个非破坏检查单元的检测结果多方面地进行判断的情况下，即使各个检测结果是单独的，也有样品的正反面、检测时的方向等检测时的检查对象的放置位置、每个装置的坐标的偏移(XY标度、正交度等)等，无法直接比较。在仅用记号笔标注标记等时，有在检测结果中未拍摄/反映标记的情况，若想要包含位置关系对一个检测结果和另一个检测结果进行比较研究，则需要预先校正坐标以在每个装置中成为相同的位置关系，再在检查对象上形成标记，并在各个检查时通过另外的照相机拍摄标记，来校正坐标和位置关系等。在该情况下，有需要校正作业，追加照相机等而导致装置变大型等课题。

另外，在如LIB那样进行层压包装的情况下，也有即使在包装的外部标注标记，与内部的电极等的位置关系也会发生偏移的问题。

在专利文献1所记载的发明中，在一个检查装置中在进行检查之前基于作为被检查物的半导体基板的元件形成区域的外形线条的相互正交的2边、定向平面等外形特征来确定检查对象的位置，并在另一个检查装置中在进行检查之前基于未图示的对位标记来确定检查对象的位置。

专利文献1:日本专利第2915025号公报

专利文献2:日本特开2017－104202号公报

在专利文献1所记载的发明中，对于半导体基板，能够对齐在由种类不同的多个非破坏检查单元检测的检测结果的每一个结果中确定的检查对象上的位置彼此。

然而，对于如LIB那样层压包装的检查对象而言，外形特征不稳定，而存在在前一个检查到后一个检查之间外形发生变化的可能。另外，在专利文献1所记载的发明中，存在任何检查在检查之前都通过照相机拍摄图像等来进行光学搜索，而需要用于在检查前进行位置确定的工序，并且如上述那样因追加照相机等而装置变大型化的课题。

发明内容

本发明是鉴于以上的现有技术中的问题而完成的，课题为在使用种类不同的多个非破坏检查单元来检查检查对象时，简单并且准确地对齐在该各非破坏检查单元的检测结果中确定的检查对象上的位置彼此。

用于解决以上的课题的技术方案1所记载的发明，一种非破坏检查方法，在使用种类不同的多个非破坏检查单元来检查检查对象时，

在检查对象上固定地形成有利用上述多个非破坏检查单元中的任意一个非破坏检查单元都能够检测的共用的标记之后，

通过上述多个非破坏检查单元中的每一个非破坏检查单元检测包含上述标记的检查对象，

以上述标记为位置基准，彼此对照上述多个非破坏检查单元的检测结果。