[发明专利]谐振子以及谐振装置

权利要求书

1.一种谐振子，具备：

振动部，具有振动臂和基部，上述振动臂具有固定端和开放端，并且弯曲振动，上述基部具有与上述振动臂的固定端连接的前端、以及与该前端对置的后端；

保持部，被设置为包围上述振动部的至少一部分；以及

保持臂，将上述振动部和上述保持部连接，

上述振动部具有：

上部电极以及下部电极；

压电膜，设置在上述上部电极与上述下部电极之间，具有与上述上部电极对置的主面，在上述上部电极与上述下部电极之间被施加电压时使上述振动臂弯曲振动；

保护膜，由绝缘体构成，上述保护膜夹着上述上部电极而与上述压电膜的上述主面对置设置，并在上述振动臂上的第一区域露出；

导电膜，夹着上述保护膜而与上述压电膜的上述主面对置设置，并在上述振动臂上的第二区域露出，上述第二区域是与第一区域相邻的上述开放端附近的区域；以及

导通电极，形成在上述保护膜上，并将上述上部电极以及上述下部电极中的任意一方与上述导电膜电连接，

在俯视上述压电膜的上述主面时，上述导通电极位于上述振动臂上的上述第二区域内且在从上述开放端朝向上述固定端的方向上比上述开放端更靠近上述第一区域的部分。

2.根据权利要求1所述的谐振子，其中，

上述振动臂具有：

锤部，形成在上述开放端附近侧，该锤部的宽度比其它区域宽；以及

臂部，与上述锤部连接。

3.根据权利要求2所述的谐振子，其中，

上述第二区域包括上述锤部的至少一部分的区域。

4.根据权利要求3所述的谐振子，其中，

上述第二区域还包括上述臂部上的与上述锤部的连接部位附近的区域。

5.根据权利要求2或者3所述的谐振子，其中，

在俯视上述压电膜的上述主面时，上述导通电极在上述第二区域中位于上述锤部的区域内。

6.根据权利要求4所述的谐振子，其中，

在俯视上述压电膜的上述主面时，上述导通电极位于上述臂部上的与上述锤部的上述连接部位附近的区域，且在上述第二区域中上述臂部的区域内。

7.根据权利要求1～4、6中的任意一项所述的谐振子，其中，

在俯视上述压电膜的上述主面时，上述上部电极从上述振动臂的上述第一区域延伸到上述第二区域，

上述导通电极将上述导电膜与上述上部电极电连接。

8.根据权利要求5所述的谐振子，其中，

在俯视上述压电膜的上述主面时，上述上部电极从上述振动臂的上述第一区域延伸到上述第二区域，

上述导通电极将上述导电膜与上述上部电极电连接。

9.根据权利要求7所述的谐振子，其中，

在俯视上述压电膜的上述主面时，上述上部电极延伸到上述振动臂的上述开放端。

10.根据权利要求8所述的谐振子，其中，

在俯视上述压电膜的上述主面时，上述上部电极延伸到上述振动臂的上述开放端。

11.根据权利要求1～4、6中的任意一项所述的谐振子，其中，

在俯视上述压电膜的上述主面时，上述上部电极在上述振动臂的上述第一区域内延伸，以便不与上述第二区域重叠，

上述导通电极将上述导电膜与上述下部电极电连接。

12.根据权利要求5所述的谐振子，其中，

在俯视上述压电膜的上述主面时，上述上部电极在上述振动臂的上述第一区域内延伸，以便不与上述第二区域重叠，

上述导通电极将上述导电膜与上述下部电极电连接。

13.一种谐振装置，具备：

权利要求1～12中的任意一项所述的谐振子；

相互对置设置的上盖以及下盖，在上盖与下盖指之间夹着上述谐振子；以及

外部电极。