[发明专利]谐振子以及谐振装置

说明书

本发明涉及谐振子以及谐振装置。能够抑制谐振子上的绝缘体层或者，绝缘体层上的导电层所带电的电荷给予谐振频率的影响，并且实现强度的提高。该谐振子具有：振动部，具有振动臂和基部，该振动臂具备固定端和开放端并弯曲振动，该基部具有与振动臂的固定端连接的前端以及与该前端对置的后端的；保持部，被设置为包围振动部的至少一部分；以及保持臂，将振动部和保持部连接，振动部具有：上部电极以及下部电极；压电膜，被设置在上部电极与下部电极之间，具有与上部电极对置的主面，在上部电极以及下部电极之间被施加电压时使振动臂弯曲振动；保护膜，由绝缘体构成，该保护膜隔着上部电极与压电膜的主面对置设置，并在振动臂的第一区域露出；导电膜，隔着保护膜与压电膜的主面对置设置，并在第二区域露出，该第二区域是振动臂中的与第一区域相邻的开放端附近的区域；以及导通电极，形成在保护膜上，并使导电膜与上部电极以及下部电极的任意一方电连接，在俯视压电膜的主面时，导通电极位于振动臂的第二区域内且比开放端更靠近第一区域的部分。

技术领域

本发明涉及谐振子以及谐振装置。

背景技术

作为用于在电子设备中实现计时功能的器件，使用压电振子等谐振子。伴随着电子设备的小型化，谐振子也要求小型化，使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)技术所制造的谐振子(以下，也称为“MEMS振子”。)受到关注。

在MEMS振子中，有时由于制造偏差而谐振频率产生偏差。因此，在MEMS振子的制造中或制造后进行通过追加蚀刻等来调整频率。

例如，在专利文献1中公开了如下的结构：在具有多个振动臂的振子中，通过分别减少设置在振动臂的前端侧的粗调用的质量部和设置在振动臂的基端侧的微调用的质量部，来调整谐振频率。

专利文献1:日本特开2012－065293号公报

专利文献1中所记载的质量部具有绝缘体层和形成在该绝缘体层上的导电层。在MEMS振子中，当形成这样的质量部并使用离子束或热电体等来调整谐振频率时，绝缘体层有时会带电。若在MEMS振子上的绝缘体层带电的状态下，MEMS振子振动，则由于绝缘体层中的电荷而产生库仑力，谐振频率发生变动。

另外，在专利文献1所记载的具有多个振动臂的振子中，由于振动臂的前端的可动范围比其基端的可动范围大，所以例如由于振子的落下冲击，振动臂的前端与盖部件等碰撞，前端有时会破损。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于抑制谐振子上的绝缘体层或者，绝缘体层上的导电层所带电的电荷给予谐振频率的影响，并且实现强度的提高。

本发明的一个方面所涉及的谐振子具有：振动部，具有振动臂和基部，振动臂具有固定端和开放端并弯曲振动，基部具有与振动臂的固定端连接的前端、以及与该前端对置的后端；保持部，被设置为包围振动部的至少一部分；以及保持臂，将振动部和保持部连接，振动部具有：上部电极以及下部电极；压电膜，被设置在上部电极与下部电极之间，具有与上部电极对置的主面，并上部电极以及下部电极之间被施加电压时使振动臂弯曲振动；保护膜，由绝缘体构成，保护膜隔着上部电极与压电膜的主面对置设置，并在振动臂的第一区域露出；导电膜，隔着保护膜与压电膜的主面对置设置，并在第二区域露出，第二区域是振动臂中的与第一区域相邻的开放端附近的区域；以及导通电极，形成在保护膜上，并使导电膜与上部电极以及下部电极的任意一方电连接，在俯视压电膜的主面时，导通电极位于振动臂的第二区域内且比开放端更靠近第一区域的部分。

根据本发明，能够抑制谐振子上的绝缘体层或者，绝缘体层上的导电层所带电的电荷给予谐振频率的影响，并且实现强度的提高。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的第一个实施方式所涉及的谐振装置的外观的立体图。

图2是示意性地表示本发明的第一个实施方式所涉及的谐振装置的构造的分解立体图。