[发明专利]基板搬运装置

权利要求书

1.一种基板搬运装置，其特征在于，具备：

基板握持手；以及

设置于上述基板握持手上，且具有保持基板的爪部及支持上述爪部的支柱部的保持构件；

上述支柱部在对上述爪部施加力时，以使施加于上述爪部的力减少的形式屈曲。

2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，

上述支柱部在从下方朝上方对上述爪部施加大于预先设定的第一规定值的力时，以使施加于上述爪部的力减少的形式屈曲。

3.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其特征在于，

上述支柱部在从上方朝下方对上述爪部施加预先设定的第二规定值以上的力时，以使施加于上述爪部的力减少的形式屈曲。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，

上述支柱部构成为：对上述爪部施加力而发生屈曲后，若施加于上述爪部的力减少，则恢复为原本的状态。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，

在上述支持部，以跨越梢端部及基端部的形式配设有弹性构件。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，

在上述支持部，以跨越梢端部及基端部的形式配设有铰链构件。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，还具备对上述支柱部发生屈曲进行检测的传感器。

8.一种基板搬运装置，其特征在于，具备：

基板握持手；以及

设置于上述基板握持手上，且具有保持上述基板的爪部及支持上述爪部的支柱部的保持构件；

上述支柱部构成为：若对上述爪部施加力，则梢端部从基端部脱离。

9.根据权利要求8所述的基板搬运装置，其特征在于，

上述支柱部构成为：若从下方朝上方对上述爪部施加大于预先设定的第一规定值的力，则梢端部从基端部脱离。

10.根据权利要求8或9所述的基板搬运装置，其特征在于，还具备对上述支柱部的上述梢端部从上述基端部脱离进行检测的传感器。