[发明专利]关闭机构真空腔室隔离装置和子系统

权利要求书

1.一种隔离装置，包括：

主体，所述主体具有从中穿过而形成的流孔；

覆盖板，所述覆盖板耦接到所述主体，所述覆盖板具有穿过所述覆盖板的开口和在所述覆盖板的表面中的凹槽；

关闭机构，所述关闭机构能枢转地设置在所述主体内，所述关闭机构包括：

轴，所述轴穿过所述覆盖板的所述开口设置；以及

密封板，所述密封板耦接到所述轴；

横臂，所述横臂耦接到与所述密封板相对且在所述主体的外部的所述轴，所述横臂被配置为选择性地旋转所述关闭机构的所述轴和所述密封板；以及

轮，所述轮可旋转地耦接到所述横臂，当所述密封板关闭时，所述轮设置在所述凹槽中。

2.如权利要求1所述的隔离装置，其中所述主体和所述关闭机构包括金属材料。

3.如权利要求2所述的隔离装置，其中所述金属材料包括铝。

4.如权利要求1所述的隔离装置，进一步包括：

偏置构件，所述偏置构件耦接到所述横臂并且被配置为在沿所述轴且朝向所述密封板的方向上向所述横臂提供力。

5.如权利要求1所述的隔离装置，进一步包括偏置构件，所述偏置构件耦接到所述横臂。

6.如权利要求1所述的隔离装置，进一步包括第一密封件和包围所述第一密封件的第二密封件，所述第一密封件和所述第二密封件设置在所述关闭机构的所述密封板中。

7.如权利要求6所述的隔离装置，其中当所述关闭机构被定位成围绕所述流孔形成密封时，所述第一密封件和所述第二密封件包围所述流孔。

8.一种隔离装置，包括：

主体，所述主体具有穿过所述主体形成的第一流孔；

下部板，所述下部板耦接到所述主体；

第二流孔，所述第二流孔穿过所述下部板形成，所述第一流孔的中心轴线与所述第二流孔的中心轴线基本上对准；

覆盖板，所述覆盖板耦接到所述主体，所述覆盖板具有穿过所述覆盖板形成的开口和在所述覆盖板的表面中的凹槽，所述开口平行于所述第一流孔和所述第二流孔；

密封板容积，所述密封板容积至少部分地由所述主体、所述下部板和所述覆盖板限定；

轴，所述轴穿过所述覆盖板中的所述开口设置；

密封板，所述密封板设置在所述密封板容积中并耦接到所述轴，所述密封板具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述轴刚性地耦接到所述密封板的所述第一表面，所述密封板被配置为围绕所述轴的轴线旋转，当所述密封板关闭时，所述密封板覆盖所述第一流孔和所述第二流孔；

横臂，所述横臂耦接到与所述密封板相对的所述轴；以及

轮，所述轮可旋转地耦接到所述横臂，当所述密封板关闭时，所述轮设置在所述凹槽中。

9.如权利要求8所述的隔离装置，进一步包括：

一个或多个密封槽，所述一个或多个密封槽形成在所述密封板的所述第二表面中；以及

一个或多个密封件，所述一个或多个密封件设置在所述一个或多个密封槽中。

10.如权利要求9所述的隔离装置，其中当所述密封板覆盖所述第二流孔时，所述一个或多个密封件包围所述第二流孔。

11.如权利要求9所述的隔离装置，其中当所述密封板关闭时，所述一个或多个密封槽和所述一个或多个密封件包围所述第二流孔。

12.如权利要求9所述的隔离装置，其中所述轮从所述凹槽脱离并在所述覆盖板上围绕所述轴的所述轴线经过弧形。

13.如权利要求8所述的隔离装置，进一步包括：致动器，所述致动器耦接到所述轴。