[发明专利]设备和真空腔

说明书

本发明涉及在真空中无摩擦和无润滑剂移动的设备，其中该设备包括位置固定轨道和通过磁力相对于位置固定轨道可移动的轨道。本发明还涉及真空腔，该真空腔例如用于具有根据本发明的设备的涂覆装置。

技术领域

本发明涉及在真空中无滑动摩擦和无润滑剂移动的设备，其中，该设备包括固定位置轨道和通过磁力相对于固定位置轨道可移动的轨道。本发明还涉及具有根据本发明的设备的真空腔，例如用于涂覆装置的真空腔。

背景技术

许多超高真空设备和真空设备需要用于在真空中移动的机构，如此是用于固定部件的移动，诸如，例如锁定推进器，或用于例如在涂覆装置中传送工件。这些机构必须既能够在真空中移动，又能从真空外部向内传递移动，反之亦然。

在这方面，至少对于超高真空设备，由于腔室中所需的残余压力10^-7Pa，而不能在腔室中使用具有可测量的蒸汽压的润滑剂或其他材料。为了避免在这样的超高真空设备中发生滑动摩擦，已经提出了使用通过边缘-凹槽-相互作用来线性地引导的滚动缸的机构。

然而，已经发现，这些滚筒和相关联的引导齿和导轨的制造必须以非常低的制造公差来进行，以实现平稳的运行和长的操作次数(使用寿命)。

以此为出发点，本发明的目的是提出一种机构，该机构可以以更简单的方式来制造，并且该机构还使得在超高真空中也能够使设备更平稳地运行并提高操作次数，以这种方式使得该机构可以以可重复的方式在更长的时间内使用。

发明内容

通过具有权利要求1的特征的主题满足了本发明目的。

用于在真空中无滑动摩擦和无润滑剂移动的这样的设备包括：

固定位置轨道，

通过磁力可移动的轨道，

至少两个、至多四个球形主体和/滚珠，其构造为使可移动的轨道能够相对于固定位置轨道移动，优选地线性移动，其中，球形主体布置在固定位置轨道与可移动的轨道之间，以及

单元，其构造为通过磁耦合相对于固定位置轨道移动可移动的轨道并在可移动的轨道的成功移动之后保持可移动的轨道。

由于没有使用边缘-槽-相互作用并且没有使用圆筒的事实，可非常简单地和成本有效地制造该设备。例如，可以以不必提供具有凹口的复杂的圆筒形状的这样的方式使用作为用于滚珠轴承的滚珠而被出售的普通滚珠。此外，可以以明显更简单的方式制造可移动的轨道和固定位置轨道的构造，因为可移动的轨道和固定位置轨道的构造不再需要具有与圆筒配合的齿。

此外，已经发现的是，利用通过球形主体可实现制造的点接触还可实现更长的运行时间。这与规定使用圆筒面的现有技术形成对比，因为圆筒面被认为比滚珠的点接触具有明显更大的可承载性和耐磨性。然而，在使用本发明时，已经发现相反的事实，即与已知的圆柱形状相比，通过滚珠和/或球形主体的点接触可实现更长的运行时间。

可以这样说，球形主体构造为用于以如下这样的方式引导可移动的轨道的目的：在至少两个点之间规定可移动的轨道的线性移动。通过使用点接触，可分别大大减少磨损，从而延长了工具使用寿命。

通过磁力可移动的轨道使得能够对此进行驱动，且可从外部传递该驱动，并且该驱动例如在真空腔的腔壁中不需要接口，因为该驱动可通过磁耦合来建立。

该设备使可移动的零件(可移动的轨道)能够沿直线轨道或在平面中弯曲的轨道(固定位置轨道)移动。

因此，本发明描述了一种机构，该机构用于在没有润滑剂的情况下，特别是在超高真空(UHV)中，部件无线性滑动摩擦或类似线性移动。该移动通过滚动滚珠实现，其中，移动主体的倒数第二自由度通过使用时从空气侧穿过壳体(在真空中从空气侧穿过壳体)的磁耦合来确定。该耦合同时用于传递力和移动。