[发明专利]盒开启器

权利要求书

1.一种盒开启器，其将对支承基板并沿上下方向堆叠配置的框架盒进行收纳的容器载置于给定的位置，而使所述框架盒所支承的所述基板成为能够由搬送装置的基板保持部件进行存取的状态，

所述盒开启器的特征在于，具备：

升降机构，其使堆叠配置的所述框架盒沿铅垂方向升降移动；

第一钩部件，其与堆叠配置的所述框架盒中的任意的第一框架盒所具备的卡合单元卡合，而支承所述第一框架盒；

第二钩部件，其与配置于由所述第一钩部件支承的所述第一框架盒的正下方的第二框架盒所具备的卡合单元卡合，而支承所述第二框架盒；

进退机构，其使所述第一钩部件和所述第二钩部件在与所述第一框架盒的所述卡合单元和所述第二框架盒的所述卡合单元卡合时向所述框架盒的方向前进移动，并使所述第一钩部件和所述第二钩部件在从所述第一框架盒的所述卡合单元和所述第二框架盒的所述卡合单元释放时向离开所述第一框架盒和所述第二框架盒的方向后退移动；

施力部件，其对所述第二钩部件向上方施力；以及

气氛维持装置，其将配置所述框架盒的内部空间维持为给定的气氛，

所述第一钩部件固定于所述进退机构的前端部分，所述第二钩部件以相对于所述第一钩部件能够位移的方式支承于所述第一钩部件，

所述第二钩部件在不支承所述第二框架盒时，通过所述施力部件的作用力向上方位移，并且，在支承所述第二框架盒时，克服所述施力部件的作用力而通过所述第二框架盒的重量向下方位移。

2.根据权利要求1所述的盒开启器，其特征在于，

在所述第二钩部件未与所述第二框架盒卡合时，

所述第一钩部件的卡合部和所述第二钩部件的卡合部之间的上下方向的间距与堆叠配置的所述框架盒的各卡合单元的上下方向的间距大致相同。

3.根据权利要求1或2所述的盒开启器，其特征在于，

对所述第二钩部件进行施力的施力部件为扭转弹簧。

4.根据权利要求1或2所述的盒开启器，其特征在于，

对所述第二钩部件进行施力的施力部件为螺旋弹簧。

5.根据权利要求1或2所述的盒开启器，其特征在于，

对所述第二钩部件进行施力的施力部件是相对于作为支点的轴，配置于与所述第二钩部件支承所述框架盒的部分相反的一侧的配重件。

6.一种基板处理系统，其特征在于，具备：

权利要求1或2所述的盒开启器；

真空搬送机器人，其搬送所述基板；

真空搬送装置，其将所述真空搬送机器人收容于内部空间，并具备将所述内部空间维持为真空状态的真空维持单元；以及

处理装置，其对所述基板实施各种处理。

7.一种大气搬送系统，其特征在于，具备：

权利要求1或2所述的盒开启器；

大气搬送机器人，其搬送所述基板；

大气搬送室，其将所述大气搬送机器人收容于内部空间，并具备将所述内部空间维持为惰性气体气氛的惰性气体供给单元；以及

装载端口，其固定于所述大气搬送室，

所述盒开启器与所述大气搬送室经由闸阀连接，

所述盒开启器还具备将其内部空间维持为真空状态的真空维持单元和惰性气体维持单元。