[发明专利]硼的去除方法、及纯水或超纯水的制造方法

权利要求书

1.一种硼的去除方法，其是向填充有硼选择性吸附体的硼吸附塔中通入含硼水而去除硼的方法，其特征是，

与预先设定的该硼吸附塔的硼BTP相对应地，在该硼吸附塔的供水的硼浓度与向该硼吸附塔中通入的该含硼水的通水SV的乘积成为规定值以下的条件下，通入该含硼水。

2.如权利要求1所述的硼的去除方法，其特征是，以使所述通水SV与供水硼浓度的乘积成为规定值以下的方式，设定该通水SV和/或填充于所述硼吸附塔的硼选择性吸附体量。

3.一种硼的去除方法，其是向填充有硼选择性吸附体的硼吸附塔中通入含硼水而去除硼的方法，其特征是，

与预先设定的该硼吸附塔的硼BTP相对应地，在该硼吸附塔的供水的硼浓度与向该硼吸附塔中通入的该含硼水的通水SV与该含硼水的通水时间的乘积成为规定值以下的条件下，通入该含硼水。

4.如权利要求3所述的硼的去除方法，其特征是，以使所述通水SV与供水硼浓度与通水时间的乘积成为规定值以下的方式，进行该通水SV的设定、填充于所述硼吸附塔的硼选择性吸附体量的设定及通水时间的控制中的任一者。

5.如权利要求3所述的硼的去除方法，其特征是，使用复数个所述硼吸附塔，边对该复数个硼吸附塔中的一部分硼吸附塔持续所述供水的通水，边以使所述通水SV与供水硼浓度与通水时间的乘积成为规定值以下的方式，设定向其他硼吸附塔中通水的停止期间。

6.如权利要求5所述的硼的去除方法，其特征是，所述复数个硼吸附塔并联连接，边对该复数个硼吸附塔中的一部分硼吸附塔持续所述供水的通水，边设定向其他硼吸附塔中通水的停止期间。

7.一种纯水或超纯水的制造方法，其具有利用权利要求1至6中任一项所述的硼的去除方法去除硼的工序。