[发明专利]电机、双行程平台和光刻设备

权利要求书

1.一种电机，包括：

静止部，包括：

一行线圈组件；

可移动部，包括：

一行永磁体，其中所述一行线圈组件具有第一长度并且所述一行永磁体具有第二长度，其中所述第二长度小于所述第一长度，其中所述线圈组件被布置以与和所述线圈组件对准的永磁体相互作用，来生成驱动力；

比较器，将表示所述可移动部的实际位置的位置测量信号与表示所述可移动部的期望位置的设定点信号进行比较，来提供误差信号；

运动反馈控制器，被配置为基于所述误差信号来提供控制信号；

至少一个电流放大器，被配置为基于所述控制信号来向所述线圈组件提供致动信号，

其中所述电机包括前馈装置，其中所述前馈装置被配置为基于所述设定点信号或从所述设定点信号导出的信号来提供电流放大器前馈信号，其中所述电流放大器前馈信号被提供给所述至少一个电流放大器来补偿由于所述线圈组件中的一个或多个线圈组件仅与所述永磁体部分地对准而引起的在所述一个或多个线圈组件上的不平衡的反电动势。

2.根据权利要求1所述的电机，其中所述电流前馈信号还被用于补偿所述电机的负载电阻、负载自感和/或负载互感。

3.根据权利要求1或2所述的电机，其中所述电机是线性电机，其中所述一行线圈组件和所述一行永磁体是线性行，所述线性行被布置成基本上平行于彼此。

4.根据前述权利要求中的任一项所述的电机，

其中所述至少一个电流放大器包括：

电流放大器比较器，用以将所述控制信号与所述电流放大器的实际状态进行比较，来提供电流放大器误差信号；

电流放大器反馈控制器，用以基于所述电流放大器误差信号来提供电流放大器控制信号，以及

放大器，用以向所述线圈组件提供致动信号；

其中所述电流放大器前馈信号被馈送到所述电流放大器中，并且被添加到所述电流放大器反馈控制器的所述电流放大器控制信号。

5.根据权利要求4所述的电机，其中所述电机包括增益平衡装置，所述增益平衡装置基于所述控制信号提供针对每个电流放大器的电流放大器输入信号。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的电机，其中所述电流放大器是电压受控的电流放大器或电流受控的电流放大器。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的电机，其中所述前馈装置是多输入多输出(MIMO)前馈装置。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的电机，其中所述线圈组件是多相线圈组件，其中所述电机包括针对每个线圈组件的电流放大器，其中每个电流放大器提供针对相应的所述线圈组件的每个相位的致动信号。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的电机，其中所述前馈装置的校准和/或调谐基于所述线圈组件的所述实际状态来执行。

10.根据权利要求1至9中的任一项所述的电机，

其中所述静止部包括第二行线圈组件，所述第二行线圈组件平行于所述一行线圈组件延伸，并且

其中所述可移动部包括第二行永磁体，所述第二行永磁体平行于所述一行永磁体延伸，

其中所述第一行线圈组件中的线圈组件被布置以与所述第一行永磁体中的与这些线圈组件对准的永磁体相互作用，来生成驱动力，

其中所述第二行线圈组件中的线圈组件被布置以与所述第二行永磁体中的与这些线圈组件对准的永磁体相互作用，来生成驱动力，并且

其中所述一行永磁体和所述第二行永磁体被布置在所述一行线圈组件与所述第二行线圈组件之间。

11.根据权利要求1至10中的任一项所述的线性电机，其中所述前馈装置还提供运动前馈信号，所述运动前馈信号要被添加到所述运动反馈控制器的所述控制信号。