[发明专利]数字掩模系统、图样成像设备及数字掩模方法

权利要求书

1.一种数字掩模系统，适用于在一材料的至少一层上形成一图样图像；其特征在于，该数字掩模系统包含：

一支撑结构，用于支撑该材料的该至少一层；及

一图样成像设备，包括：

一光源装置，被组配于提供一群光分量；

一群成像装置，被设置为分别接收所述光分量并将所述光分量转换为各表示出一图像的一群光束；及

一组合器，被设置为接收所述光束并将所述光束组合为一光束输出，且该光束输出被朝该支撑结构所支撑的该材料的该至少一层投射。

2.根据权利要求1所述的数字掩模系统，其特征在于，其中，每一成像装置具有一最大输入功率限制；

其中，每一光分量的功率是小于或等于该最大输入功率限制；及

其中，所述光分量的功率的一总和是大于该最大输入功率限制。

3.如权利要求2所述的数字掩模系统，其特征在于，其中，所述光分量所具有的波长光谱彼此实质上相同。

4.如权利要求1所述的数字掩模系统，其特征在于，其中，所述光束所表示出的所述图像彼此相同，且被组合为该光束输出的所述光束所表示出的所述图像在该材料的该至少一层上彼此完全重叠。

5.如权利要求1所述的数字掩模系统，其特征在于，其中，所述成像装置被组配成使得所述光束所表示出的其中至少一些图像在其边缘以外的部分彼此重叠于该材料上。

6.如权利要求1所述的数字掩模系统，其特征在于，其中，所述光分量所具有的波长光谱彼此实质上相同。

7.如权利要求1所述的数字掩模系统，其特征在于，其中，该组合器具有多个组合器组件，每一组合器组件具有一对彼此相反的连接面，以及多个各自连接所述连接面的安装面；

其中，对于每一组合器组件，该组合器组件的所述连接面的其中一者是被连接至所述组合器组件中的另一组合器组件的其中一连接面，且所述组合器组件以串联的方式相连接；

其中，所述成像装置被设置成使得每一光束是通过所述组合器组件的所述安装面的其中一个安装面而被提供至该组合器中，且该组合器是从串联连接的所述组合器组件的所述连接面的其中一末端的连接面输出该光束输出。

8.如权利要求1所述的数字掩模系统，其特征在于，其中，所述光分量的其中至少二个光分量所具有的波长光谱实质上不同。

9.如权利要求1所述的数字掩模系统，其特征在于，其中，该光源装置还被组配于提供额外另外至少一群光分量；

其中，该图样成像设备还包括另外至少一群成像装置，所述另外至少一群成像装置的所述成像装置被组配于分别接收所述另外至少一群光分量的所述光分量，并将所述另外至少一群光分量的所述光分量转换为各表示出一图像且共同构成另外至少一群光束的其他多个光束；

其中，该图样成像设备还包括另外至少一组合器，所述另外至少一组合器被设置为接收所述另外至少一群光束的所述光束，并将所述另外至少一群光束的所述光束组合为另外至少一光束输出，所述另外至少一光束输出被朝该支撑结构所支撑的该材料的该至少一层投射，且该光束输出及所述另外至少一光束输出被投射于该材料的该至少一层上的位置实质上不同。

10.如权利要求1所述的数字掩模系统，其特征在于，其中，所述成像装置的其中至少两个成像装置是以不同的成像技术实现。

11.一种图样成像设备，适用于将一材料图样化，其特征在于，该图样成像设备包含：

一光源装置，被组配于提供多个光分量；

多个成像装置，被设置为分别接收所述光分量并将所述光分量转换为各表示出一图像的多个光束；及

一组合器，被设置为接收所述光束并将所述光束组合为一被朝该材料投射的光束输出。