[发明专利]输送系统

权利要求书

1.一种输送系统，其特征在于，具备：

行驶区域，其由沿着第一方向配置的多个第一轨道、及沿着与所述第一方向正交的第二方向配置的多个第二轨道构成；和

悬吊式行驶台车，其具有支承体，所述悬吊式行驶台车在由该支承体支承于所述第一轨道或所述第二轨道的状态下在所述行驶区域行驶，

所述行驶区域包括：

格子区域，其通过将多个所述第一轨道排列配置，并且将多个所述第二轨道以与所述第一轨道交叉的方式排列配置，从而具有由所述第一轨道与所述第二轨道围起来的同一形状的多个单位块，在包围该单位块的所述第一轨道及所述第二轨道双方，形成有使所述支承体通过的间隙且是与各轨道的长边方向正交的间隙；和

直线区域，其行驶方向规定为所述第一方向或所述第二方向，并且未形成有与行驶方向正交的间隙。

2.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，

在所述直线区域中设定的所述悬吊式行驶台车的最大行驶速度比在所述格子区域中设定的所述悬吊式行驶台车的最大行驶速度快。

3.根据权利要求1或2所述的输送系统，其特征在于，

所述悬吊式行驶台车悬吊应输送的物品而行驶，

在所述格子区域的下方设置有收容物品的收容区域。

4.根据权利要求3所述的输送系统，其特征在于，

所述物品为收容半导体晶圆的收容容器，

在所述收容区域设置有作为与处理所述半导体晶圆的处理装置交接的交接地点的装载口、或暂时保管用于在该装载口交接的所述收容容器的保管装置。