[发明专利]输送系统

说明书

输送系统(1)具备行驶区域(3)和悬吊式行驶台车(10)。行驶区域(3)包括格子区域(3a)和直线区域(3b)。格子区域(3a)通过将多个第一轨道(31)排列配置，并且将多个第二轨道(32)以与第一轨道(31)交叉的方式排列配置，从而具有由第一轨道(31)与第二轨道(32)围起来的同一形状的多个单位块，在包围该单位块的第一轨道(31)及第二轨道(32)双方，形成有使支承体通过的间隙且是与各轨道(第一轨道(31)或第二轨道(32))的长边方向正交的间隙。直线区域(3b)的行驶方向规定为第一方向或第二方向，并且未形成有与行驶方向正交的间隙。

技术领域

本发明主要涉及输送系统。

背景技术

以往，在半导体制造工厂等设施中，为了输送各种物品，使用有具备轨道和沿着轨道行驶的行驶台车的输送系统。这种输送系统例如在专利文献1中公开。

专利文献1的输送系统为将正交的两个方向的轨道排列配置，并使顶棚行驶车沿着该轨道行驶的结构。在轨道的下方配置有处理顶棚行驶车输送的半导体晶圆的装载口、及暂时保管在装载口交接的半导体晶圆的缓存区等。

专利文献1：日本特开2016-175506号公报

由于行驶台车沿着轨道行驶，因此上述的装载口及缓存区等只能设置在轨道上。在专利文献1中，由轨道围起来的区域的大小不均匀。在这样的轨道中，设施的空间未被充分地有效利用，仍有改善的余地。

发明内容

本发明是鉴于以上的情况所做出的，其主要目的在于提供配置有能够充分地有效利用空间那样的轨道的输送系统。

本发明欲解决的课题如以上那样，接下来对用于解决该课题的方法及其效果进行说明。

根据本发明的观点，提供以下结构的输送系统。即，该输送系统具备行驶区域和悬吊式行驶台车。上述行驶区域由沿着第一方向配置的多个第一轨道、及沿着与上述第一方向正交的第二方向配置的多个第二轨道构成。上述悬吊式行驶台车具有支承体，上述悬吊式行驶台车在通过该支承体支承于上述第一轨道或上述第二轨道的状态下在上述行驶区域行驶。上述行驶区域包括格子区域和直线区域。上述格子区域通过将多个上述第一轨道排列配置，并且将多个上述第二轨道以与上述第一轨道交叉的方式排列配置，从而具有由上述第一轨道与上述第二轨道围起来的同一形状的多个单位块，在包围该单位块的上述第一轨道及上述第二轨道双方，形成有使上述支承体通过的间隙且是与各轨道(第一轨道或第二轨道)的长边方向正交的间隙。上述直线区域的行驶方向规定为上述第一方向或上述第二方向，并且未形成有与行驶方向正交的间隙。

由此，在格子区域中，以具有同一形状的多个单位块的方式配置有多个第一轨道及第二轨道，因此能够以各种路径将物品输送至各种位置。但是，在格子区域中，由于悬吊式行驶台车向各种方向移动，并且形成多个用于使支承体通过的间隙，因此悬吊式行驶台车由于在间隙上通过而易产生振动，所以希望以比较慢的速度行驶。这一点，在本发明中，除格子区域以外，还具备直线区域。由于在直线区域中仅能在预先确定的行驶方向上行驶，因此其他悬吊式行驶台车不会从与行驶方向交叉的方向进入到直线区域。因此，在直线区域中与其他悬吊式行驶台车碰撞的可能性极低，所以能够使悬吊式行驶台车高速地行驶。进一步，由于在直线区域中未形成有与行驶方向正交的间隙，因此与格子区域相比较，行驶时的悬吊式行驶台车的振动变小，所以即使在输送不耐振动的物品的情况下，也能够使悬吊式行驶台车高速地行驶。

在上述的输送系统中，优选在上述直线区域中设定的上述悬吊式行驶台车的最大行驶速度比在上述格子区域中设定的上述悬吊式行驶台车的最大行驶速度快。

由此，可以有效地利用能够使悬吊式行驶台车高速地行驶这一直线区域的特征。

在上述的输送系统中，优选为以下的结构。即，上述悬吊式行驶台车悬吊应输送的物品而行驶。在上述格子区域的下方设置有收容物品的收容区域。