[发明专利]附金属膜的衬底的分断方法

权利要求书

1.一种附金属膜的衬底的分断方法，其特征在于，是分断附金属膜的衬底的方法，且具备：

刻划步骤，通过刻划工具在特定的分断预定位置对附金属膜的衬底的设有金属膜的第1主表面侧进行刻划而形成划线，分断所述金属膜且使垂直裂缝从所述划线沿所述分断预定位置向所述附金属膜的衬底的内部延展；及

裂断步骤，使裂断棒从所述附金属膜的衬底的未设所述金属膜的第2主表面侧与所述附金属膜的衬底抵接而使所述垂直裂缝进一步延展，由此，在所述分断预定位置分断所述附金属膜的衬底。

2.根据权利要求1所述的附金属膜的衬底的分断方法，其特征在于，

所述裂断步骤中使所述附金属膜的衬底的姿势与所述刻划步骤时上下反转而进行处理。

3.根据权利要求1或2所述的附金属膜的衬底的分断方法，其特征在于，

刻划装置中，在将所述附金属膜的衬底以所述第1主表面侧与所述刻划工具对向的姿势固定在所述载台的状态下进行所述刻划步骤，且所述刻划装置具备：

载台，供载置刻划对象物；及

所述刻划工具，从上方对载置在所述载台的所述刻划对象物进行刻划。

4.根据权利要求3所述的附金属膜的衬底的分断方法，其特征在于，

所述刻划装置进一步包含：

相机，配置在所述载台的下方，且用于观察及拍摄载置在所述载台的所述刻划对象物；且

所述载台中的至少由所述相机拍摄的范围内以透明的材料构成。