[发明专利]静电电容式传感器

说明书

静电电容式传感器，具有：第一连结部，其将相邻的两个第一透明电极相互电连接，并包含非晶态氧化物系材料；以及第二连结部，其将相邻的两个第二透明电极相互电连接，并包含非晶态氧化物系材料，第一连结部和第二连结部配置成，在从与主面正交的方向看的俯视观察下不相互交叉，在第一连结部具有分别被配设于相邻的两个第一透明电极上的第一连接面，第一连接面与各个第一透明电极电连接，在第二连结部具有分别被配设于相邻的两个第二透明电极上的第二连接面，第二连接面与各个第二透明电极电连接，该静电电容式传感器能够抑制导通稳定性以及ESD耐性低下。

技术领域

本发明涉及一种静电电容式传感器，特别地，涉及一种设置了包含导电性纳米线的透明电极的静电电容式传感器。

背景技术

专利文献1中公开了一种在透明玻璃基板上形成了氧化铟锡(ITO)层的X电极以及Y电极的手指接触式检测面板。在专利文献1中记载的手指接触式检测面板，设置有X电极以及Y电极相互相交的部分。Y电极经由开孔部通过导电体膜而电连接。这样，在基板上使X电极以及Y电极相互相交，并设置将Y电极电连接的桥接布线部，由此，能够使检测面板薄型化。

这里，作为市场的动向，期望使静电电容式传感器的形状为曲面、或者能够使静电电容式传感器折弯。为此，作为静电电容式传感器的透明电极的材料，有时使用例如包含金纳米线、银纳米线以及铜纳米线等金属纳米线(导电性纳米线)的材料。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭58-166437号公报

发明内容

发明要解决的课题

若将包含导电性纳米线的材料用于透明电极的材料，则存在如下问题：各个独立的透明电极和在接通这些透明电极的交叉部分设置的桥接布线部的接触面积变得比较狭小。换言之，包含导电性纳米线的材料的透明电极通过在透明电极的表面露出的导电性纳米线确保了与桥接布线材料的导电性，并且通过导电性纳米线之间的间隙确保了透明性。因此，在桥接布线部的材料是包含导电性纳米线的材料的情况下，透明电极与桥接布线部的接触成为导线与导线的点接触。或者，在桥接布线部的材料是例如ITO等氧化物系材料的情况下，透明电极与桥接布线部的接触成为导电性纳米线的线或点与面的接触。由此，若将包含导电性纳米线的材料用于透明电极的材料，则透明电极与桥接布线部的接触面积变得比较狭小。因此，导通稳定性可能会低下。

此外，若发生静电放电(ESD：Electro Static Discharge)且大电流在透明电极与桥接布线部的接触部分流过，则该接触部分可能会局部发热而熔断。也就是说，若将包含导电性纳米线的材料用于透明电极的材料，则静电电容式传感器的变形性能提高，另一方面，导通稳定性以及ESD耐性可能会下降。

本发明是为了解决上述以往的课题而做出的，其目的在于，提供一种能够抑制导通稳定性以及ESD耐性低下的静电电容式传感器。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明的静电电容式传感器的特征在于，具有：基材，其具有透光性；多个第一透明电极，其在基材的一个主面的检测区域沿着第一方向并排地配置，具有透光性，并包含导电性纳米线；多个第二透明电极，其在检测区域沿着与第一方向交叉的第二方向并排地配置，具有透光性，并包含导电性纳米线；第一连结部，其将相邻的两个第一透明电极相互电连接，并包含非晶态氧化物系材料；以及第二连结部，其将相邻的两个第二透明电极相互电连接，并包含非晶态氧化物系材料，第一连结部和第二连结部配置成，在从与述主面正交的方向看的俯视观察下不相互交叉，在第一连结部具有分别被配设于相邻的两个第一透明电极上的第一连接面，第一连接面与各个第一透明电极电连接，在第二连结部具有分别被配设于相邻的两个第二透明电极上的第二连接面，第二连接面与各个第二透明电极电连接。