[发明专利]包括洁净迷你环境的装置有效
申请号: | 201880072606.2 | 申请日: | 2018-11-26 |
公开(公告)号: | CN111344522B | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | B·H·L·林德布姆;J·基耶瑟 | 申请(专利权)人: | 阿斯莫IP控股公司 |
主分类号: | F24F8/10 | 分类号: | F24F8/10;F24F13/08 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 丁晓峰 |
地址: | 荷兰阿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 包括 洁净 迷你 环境 装置 | ||
1.一种包括洁净迷你环境的装置(10),其包括气体再循环回路,该气体再循环回路包含:
迷你环境腔室(14),其具备腔室入口(24)及腔室出口(26);
再循环通道(20),其连接该腔室出口(26)与该腔室入口(24);
气泵(16),其具有泵出口及泵入口且位于该再循环通道中;及
过滤器组件(22),其在该泵(16)的下游及该迷你环境腔室入口(24)的上游位于该再循环通道(20)中,
其中该装置另外包括:
压力释放设备(28),其构造及配置来限制该迷你环境腔室(14)中的压力(Pme);
空气供应管道(18),其用于将空气供应至该气体再循环回路且具有开放至环境空气中的空气供应管道入口(18a)及在该再循环回路中开放的空气供应管道出口(18b),
其中,在使用中,该气泵(16)使气体自该泵出口循环通过该过滤器组件、该腔室入口、该迷你环境腔室、该腔室出口且返回至该泵入口,藉此使该迷你环境腔室(14)中的该压力(Pme)维持成高于环境压力(Pam),
其特征在于,该气体再循环通道(20)包括具体化为该气体再循环通道(20)中的喉部(30)的再循环限制件,其中该喉部(30)直接在该喉部(30)的上游界定相对于该气体再循环通道(20)的横截面面积具有逐渐减小的横截面面积的流动路径,其中该喉部(30)的下游末端(30a)界定该喉部(30)的最小横截面面积,其中该喉部(30)界定该泵入口,其中该空气供应管道出口在该喉部的界定该喉部的该最小横截面面积的该下游末端(30a)处或稍微下游处开放。
2.如权利要求1所述的装置,其中该喉部(30)具有围绕中央轴线为圆对称的截锥形内表面,其中该空气供应管道(18)的下游部分沿着该中央轴线延伸且在该喉部(30)的该下游末端(30a)的中央部分中开放。
3.如权利要求1或2所述的装置(10),其中相较于该喉部(30)的该下游末端(30a)的横截面面积(At),该空气供应管道(18)的横截面面积(Asc)是小的。
4.如权利要求1所述的装置(10),其中该空气供应管道(18)包含空气入口过滤器(32)。
5.如权利要求1所述的装置(10),其中该压力释放设备包含压力释放阀(34)。
6.如权利要求1所述的装置(10),其中该压力释放设备在该迷你环境腔室中包含小间隙,该间隙开放至周围环境中。
7.如权利要求1所述的装置(10),其包含藉由外部壁所界定的外壳,其中该外部壁至少部分地定界该迷你环境腔室及该再循环通道,其中内部壁形成该迷你环境腔室与该再循环通道之间的边界,其中该腔室出口藉由该内部壁的末端与外部壁之间的间隙形成。
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