[发明专利]包括洁净迷你环境的装置

说明书

本发明关于一种装置(10)，其包括气体再循环回路，该气体再循环回路包含藉由再循环通道(20)连接的迷你环境腔室(14)、气泵(16)、过滤器组件(22)。该装置另外包括空气供应管道(18)，该空气供应管道用于将空气供应至该气体再循环回路且具有开放至环境空气中的空气供应管道入口(18a)及在该再循环回路中开放的空气供应管道出口(18b)。在使用中，迷你环境腔室压力(Pme)经维持高于环境压力(Pam)。该气体再循环通道(20)包括具体化为喉部(30)的基本上无摩擦再循环限制件。在该喉部的形成该喉部的窄部分的下游末端处，在使用中，静态压力在该环境压力以下。该空气供应管道出口在该喉部的该下游末端(30a)处开放。

技术领域

本发明关于一种包括洁净迷你环境的装置。

背景技术

包括洁净迷你环境(M.E.)的装置例如在本导体炉中可为有用的。装置的示意性表示展示于图1中。

该装置可包括一气体再循环回路，该气体再循环回路包含：

一迷你环境腔室(14)，其具备一腔室入口(24)及一腔室出口(26)；

一再循环通道(20)，其连接该腔室出口与该腔室入口；

一气泵(16)，其具有一泵出口及一泵入口且位于该再循环通道中；及

一过滤器组件(22)，其在该泵(16)的下游及该迷你环境腔室入口(24)的上游位于该再循环通道中。

该装置另外可包括：

一压力释放设备(28)，其构造及配置来限制该迷你环境腔室中的一压力；

一空气供应管道(18)，其用于将空气供应至该气体再循环回路且具有开放至环境空气中的一空气供应管道入口及在该再循环回路中开放的一空气供应管道出口。

在使用中，该气泵使气体自该泵出口循环通过该过滤器组件、该腔室入口、该迷你环境腔室、该腔室出口且返回至该泵入口，藉此维持该迷你环境腔室中的该压力(Pme)高于环境压力(Pam)。迷你环境腔室内的压力(Pme)通常保持为高于环境压力(Pam)100Pa左右。实务上，入口过滤器之上的压力降为相当大的，约150Pa。因此，泵出口与过滤器组件之间的压力(Phigh)必须高于环境压力(Pam)大约250Pa。在腔室出口与泵入口之间，气体压力通常高于环境压力大约50Pa。

因为迷你环境腔室中及再循环管道中的压力高于通常为大气压力的环境压力，所以气体将自迷你环境腔室及气体再循环回路泄漏至环境。为了补偿此泄漏且任选地亦用于使再循环气体或空气清新，气体或空气必须经由空气供应管道供应至再循环回路。

压力高于再循环通道中的压力的气体或空气的源可得以提供。该源可为高压气槽或额外空气泵，该空气泵供应压力高于在气体再循环回路中盛行的压力的空气。此解决方案由于额外空气入口泵的存在或由于必须定期地替换的高压气槽而可为相对昂贵的。或者，再循环通道中的限制件可提供于腔室出口与泵入口之间，使得在限制件的下游及泵入口的上游，压力为亚大气(亦即，低于环境压力)的区域得以形成，使得环境空气将被吸入。然而，限制件导致能量损失，该能量损失必须藉由具有较大容量的泵补偿，该较大容量通常为在此限制件不存在时简单地使气体再循环通过气体再循环回路所需的容量的两倍。

发明内容

本发明的一目标为提供如上文所述的包括迷你环境腔室的装置，其中空气至气体再循环回路的供应用最小操作成本及对于诸如气体摄入泵的辅助器具的最小投入来实现。

为该目的，本发明提供根据权利要求1的装置。