[发明专利]光学器件

权利要求书

1.一种光学器件，其特征在于，

包括：

底座；

具有光学功能部的可动部；

第1扭力杆，在第1方向上配置于所述可动部的一侧，且与所述底座和所述可动部连接；

第2扭力杆，在所述第1方向上配置于所述可动部的另一侧，且与所述底座和所述可动部连接；

第1支承部，在与所述第1方向垂直的第2方向上配置于所述第1扭力杆的一侧，且与所述可动部连接；

第2支承部，在所述第2方向上配置于所述第1扭力杆的另一侧，且与所述可动部连接；

第3支承部，在所述第2方向上配置于所述第2扭力杆的所述一侧，且与所述可动部连接；

第4支承部，在所述第2方向上配置于所述第2扭力杆的所述另一侧，且与所述可动部连接；

第1可动梳齿电极，设置于所述第1支承部，且具有多个第1可动梳齿；

第2可动梳齿电极，设置于所述第2支承部，且具有多个第2可动梳齿；

第3可动梳齿电极，设置于所述第3支承部，且具有多个第3可动梳齿；

第4可动梳齿电极，设置于所述第4支承部，且具有多个第4可动梳齿；

第1固定梳齿电极，设置于所述底座，且具有与所述多个第1可动梳齿交错地配置的多个第1固定梳齿；

第2固定梳齿电极，设置于所述底座，且具有与所述多个第2可动梳齿交错地配置的多个第2固定梳齿；

第3固定梳齿电极，设置于所述底座，且具有与所述多个第3可动梳齿交错地配置的多个第3固定梳齿；和

第4固定梳齿电极，设置于所述底座，且具有与所述多个第4可动梳齿交错地配置的多个第4固定梳齿，

相邻的所述第1可动梳齿与所述第1固定梳齿在所述第1方向上彼此相对，

相邻的所述第2可动梳齿与所述第2固定梳齿在所述第1方向上彼此相对，

相邻的所述第3可动梳齿与所述第3固定梳齿在所述第1方向上彼此相对，

相邻的所述第4可动梳齿与所述第4固定梳齿在所述第1方向上彼此相对，

所述第1可动梳齿电极在从所述第1方向看的情况下，配置于所述第1支承部与所述第2方向上的所述可动部的所述一侧的第1端部之间，

所述第2可动梳齿电极在从所述第1方向看的情况下，配置于所述第2支承部与所述第2方向上的所述可动部的所述另一侧的第2端部之间，

所述第3可动梳齿电极在从所述第1方向看的情况下，配置于所述第3支承部与所述可动部的所述第1端部之间，

所述第4可动梳齿电极在从所述第1方向看的情况下，配置于所述第4支承部与所述可动部的所述第2端部之间，

所述第1支承部具有以与所述第1方向和所述第2方向垂直的第3方向上的所述第1支承部的厚度大于所述第3方向上的所述第1扭力杆的厚度的方式形成的第1梁部，

所述第2支承部具有以所述第3方向上的所述第2支承部的厚度大于所述第3方向上的所述第1扭力杆的厚度的方形成的第2梁部，

所述第3支承部具有以所述第3方向上的所述第3支承部的厚度大于所述第3方向上的所述第2扭力杆的厚度的方式形成的第3梁部，

所述第4支承部具有以所述第3方向上的所述第4支承部的厚度大于所述第3方向上的所述第2扭力杆的厚度的方式形成的第4梁部。

2.如权利要求1所述的光学器件，其特征在于，

所述第1支承部还具有设置有所述第1可动梳齿电极的第1主体部，

所述第2支承部还具有设置有所述第2可动梳齿电极的第2主体部，

所述第3支承部还具有设置有所述第3可动梳齿电极的第3主体部，

所述第4支承部还具有设置有所述第4可动梳齿电极的第4主体部，

所述第1扭力杆、所述第1主体部和所述第2主体部、以及所述第2扭力杆、所述第3主体部和所述第4主体部沿所述第1方向延伸。