[发明专利]光学器件

说明书

在光学器件中，第1、第2、第3和第4可动梳齿电极在从第1方向看的情况下分别配置于第1支承部与第2方向上的可动部的一侧的第1端部之间、第2支承部与第2方向上的可动部的另一侧的第2端部之间、第3支承部与可动部的第1端部之间和第4支承部与可动部的第2端部之间。第1和第2支承部分别具有以其厚度大于第1扭力杆的厚度的方式形成的第1梁部和第2梁部。第3和第4支承部分别具有以其厚度大于第2扭力杆的厚度的方式形成的第3梁部和第4梁部。

技术领域

本发明例如涉及作为MEMS(Micro Electro Mechanical Systems(微机电系统))器件构成的光学器件。

背景技术

已知有一种光学器件，其包括：底座；具有光学功能部的可动部；在可动部的两侧分别与底座和可动部连接的一对扭力杆；具有多个可动梳齿的可动梳齿电极；和具有与多个可动梳齿交错地配置的多个固定梳齿的固定梳齿电极。在专利文献1所记载的器件中，在从可动部沿扭力杆延伸的支承部设置有可动梳齿电极。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开第2005/0194650号说明书

发明内容

发明所要解决的问题

上述那样的可动梳齿电极和固定梳齿电极用作驱动用的电极、监视用的电极或驱动兼监视用的电极。在作为驱动用的电极使用可动梳齿电极和固定梳齿电极的情况下，为了以规定的轴线为中心线使可动部摇动，向可动梳齿电极与固定梳齿电极之间施加电压。在作为监视用的电极使用可动梳齿电极和固定梳齿电极的情况下，为了把握以规定的轴线为中心线摇动的可动部的位置(摇动角度)，检测可动梳齿电极与固定梳齿电极之间的静电容量。

在任一用途中使用可动梳齿电极和固定梳齿电极的情况下，均优选在可动部摇动时，可动梳齿电极与可动部一体地摇动，彼此相邻的可动梳齿与固定梳齿的间隔被维持为一定。但是，在专利文献1所记载的器件中，由于设置有可动梳齿电极的支承部从可动部沿扭力杆延伸，所以存在在可动部摇动时可动梳齿电极发生变形，作为器件的可靠性下降的担忧。

本发明的目的在于提供可靠性高的光学器件。

解决问题的技术手段