[发明专利]真空系统管道联接件

权利要求书

1.一种真空系统管道联接件，包括：限定贯通通路的第一联接构件、限定贯通通路的第二联接构件以及固定单元，

其中，所述第一联接构件具有：第一端部部分，所述第一端部部分具有第一纵向延伸轴线；第二端部部分，所述第二端部部分具有第二纵向延伸轴线，所述第二纵向延伸轴线相对于所述第一纵向延伸轴线侧向偏移；以及第一连接部分，所述第一连接部分连接所述第一端部部分与所述第二端部部分，

其中，所述第二联接构件具有：第三端部部分，所述第三端部部分具有第三纵向延伸轴线；第四端部部分，所述第四端部部分具有第四纵向延伸轴线，所述第四纵向延伸轴线相对于所述第三纵向延伸轴线侧向偏移；以及第二连接部分，所述第二连接部分连接所述第三端部部分与所述第四端部部分，以及

其中，所述固定单元被配置为在所述第一纵向延伸轴线和所述第三纵向延伸轴线对准的情况下将所述第一端部部分固定到所述第三端部部分。

2.根据权利要求1所述的真空系统管道联接件，其中，所述第一端部部分包括第一法兰，并且所述第三端部部分包括第三法兰，并且所述固定单元被配置为通过以面对面关系将第一法兰固定到所述第三法兰上而将所述第一端部部分固定到所述第三端部部分。

3.根据权利要求1或2所述的真空系统管道联接件，其中，所述第一连接部分具有第五纵向延伸轴线，并且所述第五纵向延伸轴线横向于所述第一纵向延伸轴线和所述第二纵向延伸轴线延伸。

4.根据权利要求1、2或3所述的真空系统管道联接件，其中，所述第二连接部分具有第六纵向延伸轴线，并且所述第六纵向延伸轴线横向于所述第三纵向延伸轴线和所述第四纵向延伸轴线延伸。

5.根据前述权利要求中的任一项所述的真空系统管道联接件，其中，以下项中的至少一项：

i）所述第一纵向延伸轴线和所述第二纵向延伸轴线为平行轴线；以及

ii）所述第三纵向延伸轴线和所述第四纵向延伸轴线为平行轴线。

6.根据前述权利要求中的任一项所述的真空系统管道联接件，其中，所述第一联接构件和所述第二联接构件包括相应的管道构件，其中，所述第一联接构件的所述管道构件至少部分地限定所述第一端部部分和所述第二端部部分以及所述第一连接部分，并且所述第二联接构件的所述管道构件至少部分地限定所述第三端部部分和所述第四端部部分以及所述第二连接部分。

7.根据权利要求6所述的真空系统管道联接件，其中，所述管道构件具有基本上恒定的直径。

8.根据权利要求6或7所述的真空系统管道联接件，进一步包括管道加热器，其中，所述管道加热器具有内部面，并且在使用中绕所述第一联接构件的所述管道构件缠绕，使得所述内部面接合所述管道构件，并且在所述内部面的纵向方向和横向方向中的至少一个上在所述内部面与所述第一联接构件之间的接合中不存在不连续。

9.根据前述权利要求中的任一项所述的真空系统管道联接件，其中，所述第一联接构件和所述第二联接构件是刚性体。

10.一种真空系统，包括：泵送单元，所述泵送单元具有入口和出口；以及管线，所述管线联接到所述入口和所述出口中的一个，

其中，所述管线包括：第一管道，所述第一管道具有纵向延伸轴线；以及第二管道，所述第二管道具有相对于所述第一管道的所述纵向延伸轴线侧向偏移的纵向延伸轴线，并且

其中，所述第一管道由所布置的根据前述权利要中的任一项所述的真空系统管道联接件联接到所述第二管道，使得所述第一纵向延伸轴线和所述第三纵向延伸轴线对准。