[发明专利]真空系统管道联接件

说明书

一种真空系统管道联接件包括：限定贯穿通路的第一联接构件（36）、限定贯穿通路的第二联接构件（38）以及固定单元（40）。所述第一联接构件（36）具有：第一端部部分（42），所述第一端部部分具有第一纵向延伸轴线（44）；第二端部部分（46），所述第二端部部分具有第二纵向延伸轴线（48），所述第二纵向延伸轴线相对于所述第一纵向延伸轴线侧向偏移；以及第一连接部分（50），所述第一连接部分连接所述第一端部部分和所述第二端部部分。所述第二联接构件（38）具有：第三端部部分（52），所述第三端部部分具有第三纵向延伸轴线（54）；第四端部部分（56），所述第四端部部分具有第四纵向延伸轴线（58），所述第四纵向延伸轴线相对于所述第三纵向延伸轴线侧向偏移；以及第二连接部分（60），所述第二连接部分连接所述第三端部部分和所述第四端部部分。所述固定单元（40）被配置为在所述第一和第三纵向延伸轴线（44、54）对准的情况下将所述第一端部部分（42）固定到所述第三端部部分（52）。

技术领域

本发明涉及真空系统管道联接件。

背景技术

真空系统可以包括一个或多个泵送单元、一个或多个减排单元、冷却系统和吹扫气体供应系统，它们通过管道的系统相互连接。这种真空系统中的泵送单元将至少联接到入口管道和排出管道，要被泵送的气体或蒸汽经由该入口管道被输送到泵入口中，泵送的气体或蒸汽经由该排出管道离开泵送单元而输送到大气，或者输送到减排单元以在排放到大气之前进行清洁。

在许多示例中，当组装真空系统时，管道中的一些将不对准，以致不能够使用刚性直列式（inline）真空系统管道联接件。已知的是，通过使用金属波纹管连接未对准的管道来解决这个问题。波纹管能够轴向拉伸或压缩，以补偿两个管道的相应端部之间的距离的变化。同样，如果管道的端部未对准，则波纹管能够侧向变形以补偿未对准。

使用波纹管来补偿两个管道的端部之间的对准的缺乏并非没有问题。虽然波纹管能够侧向变形以补偿管道的未对准，但是金属波纹管可获得的侧向变形的程度是相对有限的。此外，波纹管的侧向变形使波纹管产生应力，并且可以使一个或两个法兰在波纹管的端部处弯曲，使得与正被联接的两个管道的端部形成的相应接头可能受到损害。通过侧向变形使波纹管产生应力也可以使波纹管更容易发生故障，特别是当波纹管受到振动时。

波纹管的另一个问题是，碎片可以在波纹处聚集，使得与波纹管形成的管道联接件容易堵塞。波纹管的又一个问题是，如果通过联接件输送的气体或蒸汽冷凝，则波纹可能聚集水分。已知的是，在真空系统中使用管道加热器来加热管子，以防止或至少减少通过管道输送的气体或蒸汽的冷凝。管道加热器可以包括柔性基底，该基底携带一个或多个电阻加热元件和搭扣等，能够通过该其将加热器固定在围绕管道缠绕的位置中。这种管道加热器在用于波纹管上时不是特别有效。这是因为管道加热器只能够接合波纹的峰顶所提供的相对有限的表面区域。这限制了进入波纹管中的热传导，并且可以导致在没有被管道加热器接触的区域中的冷点。结果是，气体和蒸汽可以在波纹管的相对较冷的表面部分上冷凝，波纹管的波纹为冷凝液体提供捕捉器。

发明内容

本发明提供了一种根据权利要求1所述的真空系统管道联接件。

本发明还包括一种制造根据权利要求1所述的真空系统管道联接件的方法。

本发明还包括根据权利要求9或权利要求10所述的真空系统。

本发明还包括根据权利要求14所述的联接真空系统中的第一管道和第二管道的相应端部的方法。

附图说明

在下面的公开中，将参考附图，在附图中：

图1是真空系统的示意图；

图2是图1的真空系统的真空系统管道联接件的放大示意图；

图3是图2的真空系统管道联接件的两个管道构件的示意图；