[发明专利]用于真空泵送和/或减排系统的模块

权利要求书

1.用于真空泵送和/或减排系统的模块，所述模块包括：

顶部侧部以及与所述顶部侧部相对的底部侧部；

前部侧部以及与所述前部侧部相对的后部侧部，所述前部和后部侧部被设置在所述顶部和底部侧部之间；

两个相对横向侧部，被设置在所述顶部和底部侧部之间，并且被设置在所述前部和后部侧部之间，其中，所述顶部、底部、前部、后部和横向侧部限定空间；

设备，全部位于所述空间内；以及

一个或多个连接点，联接到所述设备，所述连接点中的每个用于接收用于所述设备的输入或从所述设备接收输出；其中，

所述一个或多个连接点位于所述顶部侧部处；

所述模块在第一系统维度中具有等于固定系统值的第一整数倍数的最大大小，所述第一系统维度是在横向侧部之间的维度；以及

对于每个连接点，在所述第一系统维度中在该连接点和每个横向侧部之间的距离是所述固定系统值的相应第二整数倍数。

2.根据权利要求1所述的模块，其中，所述设备选自包括以下的设备群组：用于泵送流体的真空泵送设备、用于减排流体的减排设备、被配置为控制从所述模块到从所述模块远离的其它实体的设施供应的控制器以及被配置为控制从所述模块远离的一个或多个真空泵送和/或减排设备的操作的控制器。

3.根据权利要求1或2所述的模块，其中，所述一个或多个连接点包括选自包括以下的群组的输入或输出中的一个或多个：用于从设施供应接收设施的设施输入、用于从所述模块输出设施的设施输出、过程气体入口以及过程气体出口。

4.根据权利要求2或3中任一项所述的模块，其中，所述设施包括选自包括以下的群组的一个或多个设施：设施流体、电力、电信号和光学信号。

5.根据权利要求4所述的模块，其中，所述设施包括选自包括以下的设施流体群组的设施流体：液体冷却剂、城市用水、去离子水、清洁干燥空气、甲烷、氧气、氮气和氢气。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的模块，其中，所述连接点中的一个或多个包括选自包括以下的连接件群组的连接件：弯头连接件、减径连接件、T形连接件、交叉连接件、包括阀的连接件、Y形连接件、电连接件和光学连接件。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的模块，其中，

所述模块包括多个连接点；

对于所述连接点中的至少一对，在第二系统维度中在该对连接点之间的距离是所述固定系统值的相应第三整数倍数；以及

所述第二系统维度垂直于所述第一系统维度。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的模块，其中，所述共同固定系统值是在10mm-200cm的范围中的值。

9.根据权利要求8所述的模块，其中，所述共同固定系统值是44mm。

10.真空泵送和/或减排系统，包括多个模块，每个模块根据权利要求1至9中任一项所述。

11.根据权利要求10所述的真空泵送和/或减排系统，其中，所述模块被布置为在所述第一系统维度中相邻于彼此。

12.根据权利要求10或11所述的真空泵送和/或减排系统，其中，

所述多个模块中的第一模块包括第一连接点；

所述多个模块中的第二模块包括第二连接点；以及

所述系统还包括连接线路，所述连接线路附接在所述第一连接点和所述第二连接点之间；其中，

所述连接线路包括沿着所述第一系统维度对准的一个或多个部分，所述一个或多个部分中的每个具有等于所述固定系统值的相应整数倍数的长度。