[发明专利]用于真空泵送和/或减排系统的模块

说明书

一个或多个连接点位于顶部侧部处。模块在第一系统维度中具有等于固定系统值的第一整数倍数的最大大小，第一系统维度是在横向侧部之间的维度。对于每个连接点，在第一系统维度中在该连接点和每个横向侧部之间的距离是固定系统值的相应第二整数倍数。

技术领域

本发明涉及真空泵送和/或减排系统。

背景技术

真空泵送和减排系统用于各种和不同技术领域中，例如，半导体制造。通常，在所述系统中，真空泵送设备用于将气体（例如，来自工业过程的气体）泵送出特定位置，并且减排设备用于减排（例如，消灭或清除）已产生的非期望物质（例如，排放气体）。

根据所涉及的过程，可存在有不同的标准，用于真空泵送和减排。例如，通常期望的是，使用不同的真空泵送设备和/或不同的减排设备，用于涉及不同过程气体、不同气体压力和不同气体流动的不同过程。而且，通常期望的是，使用不同的减排设备，以消灭或清除不同的非期望物质。

真空泵送和减排系统通常被设计为表示根据其中将使用其的特定过程。然而，设计、制造和安装此类所表示的系统所花费的时间量通常被延长，因为不同的过程要求不同的真空泵送和减排系统解决方案。

发明内容

在第一方面中，提供有用于真空泵送和/或减排系统的模块。模块包括：顶部侧部、与顶部侧部相对的底部侧部、前部侧部、与前部侧部相对的后部侧部以及两个相对横向侧部。前部和后部侧部被设置在顶部和底部侧部之间，并且两个相对横向侧部被设置在顶部和底部侧部之间，并且被设置在前部和后部侧部之间。顶部、底部、前部、后部和横向侧部限定空间。模块包括：设备，全部位于空间内；以及一个或多个连接点，联接到设备。连接点中的每个用于接收用于设备的输入或从设备接收输出。一个或多个连接点位于顶部侧部处。模块在第一系统维度中具有等于固定系统值的第一整数倍数的最大大小，第一系统维度是在横向侧部之间的维度。对于每个连接点，在第一系统维度中在该连接点和每个横向侧部之间的距离是固定系统值的相应第二整数倍数。

设备可选自包括以下的设备群组：用于泵送流体的真空泵送设备、用于减排流体的减排设备、被配置为控制从模块到从模块远离的其它实体的设施供应的控制器以及被配置为控制从模块远离的一个或多个真空泵送和/或减排设备的操作的控制器。

一个或多个连接点可包括选自包括以下的群组的输入或输出中的一个或多个：用于从设施供应接收设施的设施输入、用于从模块输出设施的设施输出、过程气体入口以及过程气体出口。

设施可包括选自包括以下的群组的一个或多个设施：设施流体、电力、电信号和光学信号。

设施可包括选自包括以下的设施流体群组的设施流体：液体冷却剂、城市用水、去离子水、清洁干燥空气、甲烷、氧气、氮气和氢气。

连接点中的一个或多个可包括选自包括以下的连接件群组的连接件：弯头连接件、减径连接件、T形连接件、交叉连接件、包括阀的连接件、Y形连接件、电连接件和光学连接件。

模块可包括多个连接点。对于连接点中的至少一对，在第二系统维度中在该对连接点之间的距离可为固定系统值的相应第三整数倍数。第二系统维度可垂直于第一系统维度。

共同固定系统值可为在10mm-200cm的范围中的值。共同固定系统值可为44mm。

在第二方面中，提供有包括多个模块的真空泵送和/或减排系统，每个模块根据第一方面。

模块可被布置为在第一系统维度中相邻于彼此。

多个模块中的第一模块可包括第一连接点。多个模块中的第二模块可包括第二连接点。系统还可包括连接线路，所述连接线路附接在第一连接点和第二连接点之间。连接线路可包括沿着第一系统维度对准的一个或多个部分，一个或多个部分中的每个具有等于固定系统值的相应整数倍数的长度。