[发明专利]带透明导电膜的玻璃片材、带透明导电膜的玻璃卷及其制造方法

权利要求书

1.一种带透明导电膜的玻璃卷，其是将带透明导电膜的玻璃片材卷绕而成的，该带透明导电膜的玻璃卷的特征在于：

所述带透明导电膜的玻璃片材具有：

玻璃片材；和

设置于所述玻璃片材的主面上的非晶质的透明导电膜，

所述玻璃片材的厚度为10μm以上200μm以下，

所述透明导电膜由氧化铟锌构成，

将所述带透明导电膜的玻璃片材切出100mm见方，作为带透明导电膜的玻璃片材样品，并将所述带透明导电膜的玻璃片材样品载置在平板上，对所述带透明导电膜的玻璃片材样品的4个端部至所述平板的各自的距离x1～x4进行测定时，将距离x1～x4的平均((x1+x2+x3+x4)/4)作为翘曲量，该翘曲量小于1mm。

2.如权利要求1所述的带透明导电膜的玻璃卷，其特征在于：

所述带透明导电膜的玻璃卷是所述带透明导电膜的玻璃片材与保护膜一起卷绕而成的，

所述保护膜由聚对苯二甲酸乙二醇酯构成。

3.如权利要求1或2所述的带透明导电膜的玻璃卷，其特征在于：所述透明导电膜的厚度为30nm以上500nm以下。

4.一种带透明导电膜的玻璃片材的制造方法，其特征在于，包括：

从带透明导电膜的玻璃卷拉出形成有所述透明导电膜的玻璃片材，并将该玻璃片材切断成规定的大小的工序；和

使所述切断后的玻璃片材上的所述透明导电膜结晶化的工序，

所述透明导电膜由氧化铟锌构成，

所述带透明导电膜的玻璃卷是利用下述的带透明导电膜的玻璃卷的制造方法得到的，

所述带透明导电膜的玻璃卷的制造方法包括：

从玻璃卷拉出厚度为10μm以上200μm以下的玻璃片材的工序；

在所拉出的所述玻璃片材的主面上形成透明导电膜的工序；和

将形成有所述透明导电膜的玻璃片材卷绕的工序，

在形成所述透明导电膜时，将所述玻璃片材中的所述透明导电膜的成膜部的温度保持为－30℃以上30℃以下。

5.如权利要求4所述的带透明导电膜的玻璃片材的制造方法，其特征在于：所述透明导电膜的成膜处理利用溅射法进行。

6.如权利要求4或5所述的带透明导电膜的玻璃片材的制造方法，其特征在于：所述透明导电膜的成膜处理至少进行1次以上。