[发明专利]带透明导电膜的玻璃片材、带透明导电膜的玻璃卷及其制造方法

说明书

本发明提供一种即使以卷绕体的形态进行制造和使用时也不易发生破损的带透明导电膜的玻璃片材。该带透明导电膜的玻璃片材(1)具有玻璃片材(2)和设置于玻璃片材(2)的主面(2a)上的非晶质的透明导电膜(3)。

技术领域

本发明涉及带透明导电膜的玻璃片材、带透明导电膜的玻璃卷及其制造方法。

背景技术

目前，在液晶显示设备、有机EL显示设备等显示设备、有机EL照明设备、太阳能电池等用途中，使用了在玻璃基板上设置氧化铟锡(ITO)等透明导电膜而成的带膜的玻璃基板。作为这样的带膜的玻璃基板的制造方法，例如已知有利用溅射法等在玻璃基板上形成透明导电膜的方法。

在下述的专利文献1中公开了将从开卷辊拉出的柔性基板搬送至蒸镀部，在柔性基板上形成膜之后，卷绕在收卷辊上的辊对辊(Roll to Roll)溅射法。在专利文献1中记载了通过在高温下溅射ITO等靶材料，靶材料结晶化，能够得到具有低的电阻率和高的透射率的膜的要旨。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014－109073号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，如专利文献1那样，在通过溅射ITO等靶材料而在柔性基板上成膜的情况下，当在柔性基板上产生弯曲应力时等，容易有导电膜和柔性基板容易破损这样的问题。因此，在保管和处理这样的形成有导电膜的柔性基板时，伴随有高的破损风险。特别而言，如专利文献1那样，以卷绕体(卷)的形态制造和使用时，该倾向显著。

本发明的目的在于提供即使以卷绕体的形态进行制造和使用时也不易发生破损的带透明导电膜的玻璃片材、带透明导电膜的玻璃卷及其制造方法。

用于解决技术问题的技术方案

本发明的带透明导电膜的玻璃片材的特征在于：具有玻璃片材和设置于上述玻璃片材的主面上的非晶质的透明导电膜。

在本发明的带透明导电膜的玻璃片材中，上述透明导电膜优选由氧化铟锡构成。

在本发明的带透明导电膜的玻璃片材中，上述透明导电膜优选由氧化铟锌构成。

在本发明的带透明导电膜的玻璃片材中，上述透明导电膜的厚度优选为30nm以上500nm以下。

在本发明的带透明导电膜的玻璃片材中，上述玻璃片材的厚度优选为10μm以上200μm以下。

本发明的带透明导电膜的玻璃卷的特征在于：其是将本发明所构成的带透明导电膜的玻璃片材卷绕而成的。

本发明的带透明导电膜的玻璃卷的制造方法的特征在于，包括：从玻璃卷拉出玻璃片材的工序；在所拉出的上述玻璃片材的主面上形成透明导电膜的工序；和将形成有上述透明导电膜的玻璃片材卷绕的工序；在形成上述透明导电膜时，将上述玻璃片材的上述透明导电膜的成膜部的温度保持为－30℃以上30℃以下。

在本发明的带透明导电膜的玻璃卷的制造方法中，上述透明导电膜的成膜处理优选利用溅射法进行。

在本发明的带透明导电膜的玻璃卷的制造方法中，上述透明导电膜的成膜处理优选至少进行1次以上。

本发明的带透明导电膜的玻璃片材的制造方法的特征在于，包括：从利用本发明所构成的带透明导电膜的玻璃卷的制造方法得到的带透明导电膜的玻璃卷拉出形成有上述透明导电膜的玻璃片材，并将该玻璃片材切断成规定的大小的工序；和使上述切断后的玻璃片材上的上述透明导电膜结晶化的工序。

发明效果

利用本发明，能够提供一种即使以卷绕体的形态进行制造和使用时也不易发生破损的带透明导电膜的玻璃片材。

附图说明