[发明专利]流化床式反应容器及三氯硅烷的制造方法

权利要求书

1.一种流化床式反应容器，使金属硅粉体与氯化氢气体进行反应而生成三氯硅烷，其特征在于，

具备立设于容器主体的底面上的多个喷出喷嘴，

在所述喷出喷嘴上形成有将所述氯化氢气体向侧方吹出的气体喷出开口，并且

在所述多个喷出喷嘴中的与所述容器主体的外壁邻接的第一喷出喷嘴上，以不会对所述外壁侧吹出氯化氢气体的方式形成有所述气体喷出开口，

所述喷出喷嘴具备包含上表面闭合外管及内管的双层管，

在所述内管上形成将所述氯化氢气体喷出至所述上表面闭合外管与内管之间的空间中的内管开口，且在所述上表面闭合外管上，在较所述内管开口更下侧的位置，形成有向所述容器主体的内部喷出所述氯化氢气体的所述气体喷出开口，并且

将所述内管开口的下端与所述气体喷出开口的上端连结的直线与水平线所形成的角度大于堆积的金属硅粉体的休止角。

2.根据权利要求1所述的流化床式反应容器，其特征在于，

在所述多个喷出喷嘴中的存在于较所述第一喷出喷嘴更内侧的第二喷出喷嘴上，以向所述第二喷出喷嘴的周围放射状地喷出所述氯化氢气体的方式形成有多个所述气体喷出开口。

3.根据权利要求2所述的流化床式反应容器，其特征在于，

所述第二喷出喷嘴配置有多个，并且

以包围所述多个第二喷出喷嘴的周围的方式配置有多个所述第一喷出喷嘴。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的流化床式反应容器，其特征在于，

所述喷出喷嘴的气体喷出开口形成为从所述容器主体的底面起15mm以上且30mm以下的高度。

5.一种三氯硅烷的制造方法，其特征在于，

包括如下步骤：使用根据权利要求1至4中任一项所述的流化床式反应容器，使金属硅粉体与氯化氢气体进行反应。