[发明专利]金属板和使用其的沉积掩模

权利要求书

1.一种用于制造沉积掩模的金属板，所述金属板包含：

铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料，所述铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料具有30μm或更小的厚度并且含有氧(O)和铬(Cr)；

其中所述金属材料为铬(Cr)的原子浓度为0.03原子％或更小的殷钢，以及

所述金属材料包括外部部分和除所述外部部分之外的内部部分，所述外部部分包括表面，

其中在距离所述表面14nm或更小的深度范围内，所述外部部分具有60原子％或更小的铁(Fe)的最大原子浓度、40原子％至45原子％的镍(Ni)的最大原子浓度和10原子％或更小的氧(O)的最小原子浓度。

2.根据权利要求1所述的金属板，其中所述外部部分具有距离所述表面30nm或更小的深度范围，所述外部部分和所述内部部分中的镍的最大原子浓度彼此不同。

3.根据权利要求1所述的金属板，其中在距离所述表面14nm或更小的深度范围内，所述镍(Ni)的最大原子浓度为42原子％至44原子％。

4.根据权利要求1所述的金属板，其中所述外部部分中包含的镍在距离所述表面3nm至9nm的深度范围内具有最大原子浓度值。

5.根据权利要求1所述的金属板，其中在距离所述表面14nm或更小的深度范围内，所述氧(O)的最小原子浓度为5原子％或更小。

6.一种沉积掩模，包含：

铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料，所述铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料包括沉积区域和除所述沉积区域之外的非沉积区域，

其中所述沉积区域包括在纵向方向上间隔开的复数个有效部分和除所述有效部分之外的非有效部分，

其中所述有效部分包括：

形成在所述金属材料的一个表面上的复数个小表面孔；

形成在所述金属材料的与所述一个表面相反的另一表面上的复数个大表面孔；

分别连通所述小表面孔和所述大表面孔的复数个通孔；以及

形成在相邻通孔之间的岛部分，

其中所述通孔的分辨率为400PPI或更大，以及

所述金属材料含有氧(O)和铬(Cr)，

其中所述金属材料为铬(Cr)的原子浓度为0.03原子％或更小的殷钢，

所述金属材料包括外部部分和除所述外部部分之外的内部部分，所述外部部分包括表面，以及

在距离所述非沉积区域、所述非有效部分和所述岛部分中的至少一者的表面14nm或更小的深度范围内，铁(Fe)的最大原子浓度为60原子％或更小，镍(Ni)的最大原子浓度为40原子％至45原子％，以及氧(O)的最小原子浓度为10原子％或更小。

7.根据权利要求6所述的沉积掩模，其中所述金属材料的厚度为30μm或更小。

8.根据权利要求6所述的沉积掩模，其中在距离所述表面14nm或更小的深度范围内，所述镍(Ni)的最大原子浓度为42原子％至44原子％。

9.根据权利要求6所述的沉积掩模，其中所述有效部分的厚度为30μm或更小，所述岛部分的最大厚度为30μm或更小。

10.根据权利要求6所述的沉积掩模，其用于绿色有机材料沉积，其中所述通孔的直径为33μm或更小，所述通孔之间的距离为48μm或更小，所述沉积掩模的分辨率为500PPI或更大。