[发明专利]金属板和使用其的沉积掩模

说明书

根据一个实施方案的用于制造沉积掩模的金属板具有30μm或更小的厚度并且包含含有氧(O)和铬(Cr)的铁(Fe)‑镍(Ni)合金金属材料，其中金属材料为铬(Cr)的原子浓度为0.03原子％或更小的殷钢，金属材料包括外部部和排除外部部的内部部，所述外部部包括表面，在距离表面14nm或更小的深度范围内，外部部具有60原子％或更小的铁(Fe)的最大原子浓度、40原子％至45原子％的镍(Ni)的最大原子浓度和10原子％或更小的氧(O)的最大原子浓度。

技术领域

本发明涉及能够防止腐蚀并具有均匀的特性的金属板和使用其的沉积掩模。

背景技术

显示装置通过应用于各种设备来使用。例如，显示装置不仅通过应用于诸如智能电话和平板PC的小型设备，而且通过应用于诸如TV、监视器和公共显示器(PD)的大型设备来使用。特别地，近来，对500像素每英寸(PPI)或更大的超高清晰度(UHD)的需求增加，并且高分辨率显示装置已应用于小型设备和大型设备。因此，对用于实现低功率和高分辨率的技术的兴趣正在增加。

根据驱动方法，通常使用的显示装置可以大致分为液晶显示器(LCD)、有机发光二极管(OLED)等。

LCD是通过使用液晶驱动的显示装置，并且具有其中包括冷阴极荧光灯(CCFL)、发光二极管(LED)等的光源设置在液晶的下部处的结构。LCD是通过使用设置在光源上的液晶控制从光源发射的光的量来驱动的显示装置。

此外，OLED是通过使用有机材料驱动的显示装置，并且不需要单独的光源，有机材料本身可以用作光源并且可以以低功耗驱动。此外，OLED作为可以表现出无限的对比度，具有比LCD快约1000倍的响应速度，以及可以以优异的视角代替LCD的显示装置而引起关注。

特别地，OLED的发光层中包含的有机材料可以通过称为精细金属掩模(finemetal mask，FMM)的沉积掩模沉积在基底上，并且沉积的有机材料可以形成为对应于形成在沉积掩模上的图案的图案以充当像素。详细地，沉积掩模通常由金属板形成，金属板包括形成在对应于像素的图案的位置处的通孔。在这种情况下，诸如红色、绿色、蓝色的有机材料可以通过如图5所示的金属板的通孔沉积在基底上，并且像素图案可以形成在基底上。

通常，沉积掩模可以由由铁(Fe)和镍(Ni)合金制成的金属板制造。例如，沉积掩模可以由殷钢(Invar)合金制成。虽然用制造的金属板立即制造沉积掩模是有利的，但存在实践上困难的原因。例如，由于金属板的制造过程和沉积掩模的制造过程可能在不同的区域中进行，因此当制造金属板然后将其转移至制造沉积掩模的区域时，金属板可能长时间暴露于空气。或者，即使在转移金属板时，也难以将所有的金属板同时放入沉积掩模的制造过程，并且当将它们顺序放置时，应存在将长时间储存的金属板。可以考虑单独的储存方法，但可以预期过高的成本。

因此，金属板还可以包含除铁(Fe)和镍(Ni)之外的铬(Cr)以防止表面腐蚀。铬(Cr)是可以确保耐腐蚀性的元素，并且金属板可以由于铬(Cr)而具有改善的耐腐蚀性，但存在用于制造金属板的组成中的铬(Cr)难以均匀地分散或分布的问题。

此外，当铬(Cr)不均匀地分散或分布并集中在特定部分中时，在制造金属板的过程中，其促进偏析和第二析出相等的形成，并因此金属板的物理特性可能改变。因此，金属板的耐腐蚀性和可加工性降低，并且存在在使用金属板制造高分辨率沉积掩模期间出现缺陷的问题。具体地，当使用金属板制造沉积掩模时，存在在金属板的一个表面和另一表面上形成凹槽的可加工性由于上述问题而劣化的问题。

因此，需要能够解决上述问题的金属板和使用其的沉积掩模。

发明内容

技术问题

一个实施方案涉及提供具有改善的耐腐蚀性的金属板。此外，实施方案涉及提供这样的沉积掩模：其可以在由具有改善的耐腐蚀性的金属板制造沉积掩模的过程中以及在使用沉积掩模形成图案的过程中防止腐蚀。