[发明专利]衬底保持器、衬底支撑件和将衬底夹持至夹持系统的方法

权利要求书

1.一种将衬底夹持至夹持系统的方法，所述方法包括以下步骤：

提供衬底保持器，所述衬底保持器包括：

主体，具有第一主体表面和第二主体表面，其中所述第一主体表面和第二主体表面在所述主体的相反侧上；和

多个第一突节，从所述第一主体表面突出，其中每个第一突节具有配置成支撑所述衬底的远端表面；

提供用于支撑所述衬底保持器的支撑表面；

提供多个第二突节，所述多个第二突节用于通过所述支撑表面与所述多个第二突节的远端表面接触将所述衬底保持器支撑在所述支撑表面上；

生成第一力以将所述衬底保持器吸引至所述支撑表面；

将所述衬底放置在所述衬底保持器上，以使得所述衬底接触所述多个第一突节；

生成第二力以将所述衬底吸引至所述衬底保持器；和

在释放步骤中控制所述第一力和第二力中的至少一个，以使得所述主体在第二突节之间变形，从而在第一子集的所述多个第一突节的远端表面和所述衬底之间产生间隙，并使得所述衬底被支撑在第二子集的所述多个第一突节的远端表面上。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述控制步骤还包括控制在重新接合步骤中控制所述第一力和第二力中的至少一个以使得所述主体变形，从而第一子集的所述多个第一突节的远端表面接触所述衬底。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述控制步骤还包括在分离接合的步骤中控制所述第一力和第二力中的至少一个以使得所述主体变形，从而在第二子集的所述多个第一突节的远端表面和所述衬底之间产生间隙。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述控制步骤还包括在另一重新接合步骤中控制所述第一力和第二力中的至少一个以使得所述主体变形，从而第二子集的所述多个第一突节的远端表面接触所述衬底。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述释放步骤、重新接合步骤、分离接合步骤和另一重新接合步骤以此次序被执行多次。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的方法，其中，所述释放步骤包括从初始值增加所述第一力的幅值和/或从初始值减小所述第二力的幅值。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的方法，其中至少部分通过在所述支撑表面和所述衬底保持器之间施加负压生成所述第一力，和/或其中至少部分通过在所述衬底和所述衬底保持器之间施加负压生成所述第二力，和/或其中至少部分通过经由电极施加静电力生成所述第一力和/或第二力。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述主体在使用中配置成阻挡气体从所述第一主体表面通过所述主体传递至所述第二主体表面和阻挡气体从所述第二主体表面通过所述主体传递至所述第一主体表面。

9.一种衬底保持器，用于光刻设备并配置成将衬底支撑在衬底支撑件上，所述衬底保持器包括：

主体，具有第一主体表面和第二主体表面，其中所述第一主体表面和第二主体表面在所述主体的相反侧上；

多个第一突节，从所述第一主体表面突出，其中每个第一突节具有配置成支撑所述衬底的远端表面；和

多个第二突节，从所述第二主体表面突出，其中每个第二突节具有用于将所述衬底保持器支撑在所述衬底支撑件上的远端表面，

其中第一子集的所述多个第一突节的远端表面距离所述第一主体表面第一距离，第二子集的所述多个第一突节的远端表面距离所述第一主体表面第二距离，所述第一距离大于所述第二距离。