[发明专利]监视方法

权利要求书

1.一种监视方法，其特征在于，是用于对具有多个驱动部且进行规定的工序动作的机器人进行监视的监视方法：

将上述多个驱动部中的至少一个设定为监视对象，

对设定为监视对象的驱动部分别预先设定与上述驱动部的动作相关的位置偏差、速度偏差、加速度偏差以及电流值中的至少一种的监视参数，

上述规定的工序动作包括在时间轴上依序进行的多个工序部分，在上述多个工序部分的各者中被设定为监视对象的至少一个驱动部进行动作，并且

包括：将上述规定的工序动作进行一次以上，在上述多个工序部分的各者中，对进行动作的被设定为监视对象的所有驱动部，检测所设定的所有监视参数的准备运转工序；

对于上述准备运转工序中检测出的所有监视参数的各者，基于规定的负荷评价方法导出负荷程度，从上述负荷程度大者起依序将上述检测出的所有工序部分进行分级的分级工序；以及

对上述分级工序中分级为上位的工序部分，针对检测出该监视参数的工序部分中的驱动部进行监视的通常运转工序。

2.根据权利要求1所述的监视方法，其特征在于，

上述驱动部为在上述机器人所具有的至少一个关节轴分别设置的伺服马达。

3.根据权利要求1所述的监视方法，其特征在于，

上述通常运转工序中，仅对上述分级工序中分级为上位的工序部分，针对检测出该监视参数的工序部分中的驱动部进行监视。

4.根据权利要求1所述的监视方法，其特征在于，

对于各驱动部分别设定多个上述监视参数。

5.根据权利要求1所述的监视方法，其特征在于，

上述多个工序部分分别藉由将上述规定的工序动作按上述机器人进行的每个作业单元或动作单元划分而构成。

6.根据权利要求1所述的监视方法，其特征在于，

在上述分级工序的结束时报知其意思。

7.根据权利要求1所述的监视方法，其特征在于，

在上述通常运转工序中，在监视的驱动部的负荷程度超过规定阈值的情况下发出警报。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的监视方法，其特征在于，

上述机器人为在制造现场进行上述规定的工序动作的搬送用机器人。

9.根据权利要求8所述的监视方法，其特征在于，

上述制造现场为半导体制造现场，且上述机器人为用于搬送半导体晶圆的搬送用机器人。