[发明专利]负型感光性硅氧烷组合物、以及使用了其的固化膜和电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种负型感光性组合物，其包含(I)聚硅氧烷、(II)光碱产生剂、以及(III)溶剂，

所述聚硅氧烷是包含由以下的式(Ia)以及以下的式(Ib)表示的重复单元的聚硅氧烷，

利用FT-IR法对所述聚硅氧烷进行了测定以及解析时，处于1100±100cm^-1的范围的归属于Si-O的吸收带的面积强度S1与处于900±100cm^-1的范围的归属于SiOH的吸收带的面积强度S2之比S2/S1为0.05～0.15，

式中，

R¹表示氢，1～3价的C_1～30的直链状、支链状或者环状的饱和或不饱和的脂肪族烃基，或者1～3价的C_6～30的芳香族烃基，

在所述脂肪族烃基以及所述芳香族烃基中，1个以上的亚甲基被氧基、酰亚胺或者羰基取代了或者非取代，1个以上的氢被氟、羟基、或者烷氧基取代了或者非取代，或者1个以上的碳被硅取代了或者非取代，

R¹为2价或3价的情况下，R¹将多个重复单元中所含的Si彼此进行连结；

所述光碱产生剂由以下的式(PBG-A)或者(PBG-B)表示，

式中，

R^A1～R^A6各自独立地为氢、卤素、羟基、巯基、硫醚、甲硅烷基、硅烷醇、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸根、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸根、氨基、铵、取代或者非取代的C_1～20的脂肪族烃基、取代或者非取代的C_6～22的芳香族烃基、取代或者非取代的C_1～20的烷氧基、或者取代或者非取代的C_6～20的芳氧基，

R^A7以及R^A8各自独立地为C_1～6的羟基烷基，或者R^A7以及R^A8利用C_2～9的亚烷基进行结合而形成环状结构，在所述环状结构上结合着C_1～6的羟基烷基，

R^B1～R^B8各自独立地为氢、取代或者非取代的C_1～20的脂肪族烃基、取代或者非取代的C_6～22的芳香族烃基、取代或者非取代的C_1～20的烷氧基、或者取代或者非取代的C_6～20的芳氧基，

X^-是硼酸根离子或者羧酸根离子，其具有取代或者非取代的C_1～20的脂肪族烃基、取代或者非取代的C_6～22的芳香族烃基。

2.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述聚硅氧烷在末端或者侧链具有硅烷醇。

3.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述R¹为氢，C_1～6的直链状、支链状或者环状的烷基，或者C_6～10的芳基。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的组合物，其中，所述聚硅氧烷包含选自由以下的式(i-1)、(i-2)以及(i-3)组成的组中的重复单元的组合，

所述重复单元(i-1)、(i-2)、以及(i-3)的配混摩尔比p1、p2、以及p3为0.4≤p1≤0.8、0≤p2≤0.4、且0.2≤p3≤0.6。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的组合物，其中，所述聚硅氧烷的质均分子量为1,000～10,000。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的组合物，其中，所述聚硅氧烷中所含的重复单元(Ib)相对于重复单元的总和的配混比为20mol％以上。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的组合物，其中，所述光碱产生剂选自由以下的式(PBG-A1)～(PBG-A8)以及(PBG-B1)～(PBG-B2)组成的组中