[发明专利]压力传感器的屏蔽构造及具备该屏蔽构造的压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器的屏蔽构造，其特征在于，

构成为具备传感器单元和电场遮挡部件，

上述传感器单元包括：传感器芯片，其检测压力并送出检测输出信号；芯片安装部件，其支撑该传感器芯片；膜片，其将配置该传感器芯片及芯片安装部件的液封室和与该液封室对置的压力室分隔；以及输入输出端子组，其支撑于密封玻璃并与该传感器芯片电连接，

上述电场遮挡部件通过由经由接合引线与上述输入输出端子组中的任意一根以上的端子电连接且具有与上述膜片对置并由导电层构成的一方端面和支撑于上述密封玻璃并由绝缘层构成的另一方端面的平板状的导电板的一方端面支撑，来配置在上述液封室内的上述传感器芯片的一方端面与上述膜片之间，遮挡作用于该传感器芯片的信号处理电子电路部的电场。

2.根据权利要求1所述的压力传感器的屏蔽构造，其特征在于，

上述导电板配置于上述密封玻璃的端面并与上述输入输出端子组电连接。

3.根据权利要求2所述的压力传感器的屏蔽构造，其特征在于，

上述导电板与上述传感器芯片的信号处理电子电路部处于同一电位。

4.一种压力传感器的屏蔽构造，其特征在于，

构成为具备传感器单元和电场遮挡部件，

上述传感器单元包括：传感器芯片，其检测压力并送出检测输出信号；膜片，其将配置该传感器芯片的液封室和与该液封室对置的压力室分隔；输入输出端子组，其与该传感器芯片电连接；以及传感器壳体，其与上述膜片一起形成上述液封室，

上述电场遮挡部件通过由经由接合引线与上述输入输出端子组中的任意一根以上的端子电连接且具有与上述膜片对置并由导电层构成的一方端面和支撑于上述传感器壳体的内周面并由绝缘层构成的另一方端面的平板状的导电板的一方端面支撑，来与上述传感器单元绝缘地配置在上述液封室内的上述传感器芯片的一方端面与上述膜片之间，遮挡作用于该传感器芯片的信号处理电子电路部的电场，该电场遮挡部件具有支撑于上述导电板的一方端面的至少一对固定端部。

5.根据权利要求4所述的压力传感器的屏蔽构造，其特征在于，

上述导电板配置于收纳上述传感器单元的传感器壳体的内周面且与上述输入输出端子组电连接。

6.根据权利要求4所述的压力传感器的屏蔽构造，其特征在于，

上述导电板与上述传感器芯片的信号处理电子电路部处于同一电位。

7.一种压力传感器，其特征在于，

构成为具备传感器单元、电场遮挡部件、以及收纳上述传感器单元及上述电场遮挡部件的传感器单元收纳部，

上述传感器单元包括：传感器芯片，其检测压力并送出检测输出信号；芯片安装部件，其支撑该传感器芯片；膜片，其将配置该传感器芯片及芯片安装部件的液封室和与该液封室对置的压力室分隔；以及输入输出端子组，其支撑于密封玻璃并与该传感器芯片电连接，

上述电场遮挡部件通过由经由接合引线与上述输入输出端子组中的任意一根以上的端子电连接且具有与上述膜片对置并由导电层构成的一方端面和支撑于上述密封玻璃并由绝缘层构成的另一端面的平板状的导电板的一方端面支撑，来配置在上述液封室内的上述传感器芯片的一方端面与上述膜片之间，遮挡作用于该传感器芯片的信号处理电子电路部的电场。