[发明专利]有机硅系接着片、含有其的积层体、半导体装置的制造方法

权利要求书

1.一种有机硅系接着片，其在加热前，接着面从其它非粘着性基材上剥离的剥离模式为界面剥离，将所述接着面在50至200℃的范围内进行加热后，所述接着面从其它非粘着性基材上剥离的剥离模式变为凝集破坏，并具有永久接着性。

2.根据权利要求1所述的有机硅系接着片，其中，使用质构仪对于所述片的任一表面，使直径8mm的不锈钢制探针以0.01mm/秒的速度向片表面下降，并施加50gf的负载后保持0.5秒，然后以0.5mm/秒的速度使探针上升时，所述接着片从探针上发生界面剥离，并且显示其接着力的最大值，进而，在100至200℃的范围内将具有所述接着力的最大值的表面加热3小时时，所述接着面从其它非粘着性基材上剥离的剥离模式变为凝集破坏，并且具有永久接着性。

3.根据权利要求1或2所述的有机硅系接着片，其中，上述接着力的最大值为10gf以上的值。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的有机硅系接着片，其中，片的厚度为5至1000μm的范围内。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的有机硅系接着片，其被夹持于对所述片具有剥离性的基材间，并且至少一个基材的与所述片的接触面具有氧原子或硫原子。

6.根据权利要求5所述的有机硅系接着片，其中，有机硅系接着性片为交联性有机硅组合物的交联物，在对所述交联物具有剥离性的基材之间使所述组合物交联而成，至少一个基材的与所述组合物的接触面具有氧原子或硫原子。

7.根据权利要求5或6所述的有机硅系接着片，其中，基材是由有机树脂构成的片状基材，氧原子是构成选自由羰基、烷氧基、酯基、以及醚基所组成的组中的基团的原子，此外，硫原子是构成选自由磺酸基和硫醚基所组成的组中的基团的原子。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的有机硅系接着片，其为含有以下成分(A)至成分(D)的交联性有机硅组合物的交联物：

(A)一分子中具有至少2个硅原子键合烯基的有机聚硅氧烷；

(B)一分子中具有至少2个硅原子键合氢原子的有机聚硅氧烷；

(C)至少一种增粘剂；以及

(D)硅氢化反应用触媒。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的有机硅系接着片，其用于将半导体芯片或半导体用晶片接着至其安装部的目的。

10.一种积层体，其含有根据权利要求1至9中任一项所述的有机硅系接着片。

11.根据权利要求10所述的积层体，其为半导体芯片用或半导体用晶片用的晶片粘结膜。

12.根据权利要求10所述的积层体，其具有透过有机硅系接着片，将半导体芯片或半导体用晶片配置至基材上的构造。

13.一种半导体装置，其具有通过根据权利要求1至9中任一项所述的有机硅系接着片的固化物，将半导体芯片或半导体用晶片固定至基材上的构造。

14.根据权利要求13所述的半导体装置，其为微机电系统(MEMS)装置。

15.一种半导体装置的制造方法，其具有以下工艺：

工艺1：将根据权利要求1至9中任一项所述的有机硅系接着片积层至半导体用晶片的背面的工艺；

工艺2：通过切割使上述工艺1中获得的积层体单片化的工艺；

工艺3：透过有机硅系接着片面，将上述工艺2中获得的半导体用晶片的单片配置于半导体基材上的工艺；以及

工艺4：在50至200℃的范围内对通过有机硅系接着片面将工艺3中获得的半导体用晶片的单片配置至半导体基材上的构造体进行加热，通过有机硅系接着片将半导体用晶片的单片接着至半导体基材上的工艺。