[发明专利]可动态地调整面板温度的离子源及其设备

权利要求书

1.一种可动态地调整面板温度的离子源，包括：

多个腔室壁；

面板，使用压缩力被抵靠所述腔室壁而设置；以及

一个或多个紧固件，用以将所述面板抵靠所述腔室壁进行固定；其中能够以电子方式使由所述紧固件施加到所述面板的所述压缩力变化，以调整所述面板与所述腔室壁之间的导热性。

2.根据权利要求1所述的可动态地调整面板温度的离子源，其中所述紧固件包括紧固装置及力调整器，其中所述力调整器包括弹簧及电子长度调整器，所述电子长度调整器调整所述弹簧在承受载荷时的长度。

3.根据权利要求2所述的可动态地调整面板温度的离子源，其中所述电子长度调整器包括压电致动器。

4.根据权利要求2所述的可动态地调整面板温度的离子源，其中所述电子长度调整器包括螺线管。

5.根据权利要求2所述的可动态地调整面板温度的离子源，其中所述电子长度调整器包括伺服马达及臂，其中所述臂的近端附装到所述伺服马达的旋转部分。

6.根据权利要求2所述的可动态地调整面板温度的离子源，其中所述电子长度调整器包括气压缸。

7.根据权利要求2所述的可动态地调整面板温度的离子源，其中所述电子长度调整器包括伺服马达及滚珠螺杆。

8.根据权利要求1所述的可动态地调整面板温度的离子源，其中所述紧固件包括紧固装置及力调整器，且所述力调整器选自由以下组成的群组：可卷绕式螺旋弹簧；压电致动器；螺线管；气压缸；伺服马达及滚珠螺杆；以及伺服马达及臂，其中所述臂的近端附装到所述伺服马达的旋转部分。

9.一种具有可动态地调整面板温度的离子源的设备，包括：

所述离子源，包括：

多个腔室壁；

面板，被抵靠所述腔室壁而设置；以及

一个或多个紧固件，用以将所述面板抵靠所述腔室壁进行固定；以及

控制器，与所述紧固件进行通信，以调整由所述紧固件施加到所述面板的压缩力，以调整所述面板与所述腔室壁之间的导热性。

10.根据权利要求9所述的具有可动态地调整面板温度的离子源的设备，其中所述紧固件包括弹簧及电子长度调整器，所述电子长度调整器与所述控制器进行通信，以调整所述弹簧在承受载荷时的长度。

11.根据权利要求9所述的具有可动态地调整面板温度的离子源的设备，其中所述控制器基于被引入到所述离子源中的馈入气体的物质来调整所述压缩力。

12.根据权利要求9所述的具有可动态地调整面板温度的离子源的设备，其特征在于，所述控制器包括输入装置，且所述控制器基于从所述输入装置接收的输入来调整所述压缩力。

13.一种可动态地调整面板温度的离子源，包括：

多个腔室壁；以及

面板，被抵靠所述腔室壁而设置；其中能够通过电子方式调整由紧固件施加到所述面板的压缩力以使所述面板与所述腔室壁之间的导热性变化而调整所述面板的温度。

14.根据权利要求13所述的可动态地调整面板温度的离子源，进一步包括控制器，其中所述控制器通过变更所述面板与所述腔室壁之间的所述压缩力来调整所述导热性。

15.根据权利要求14所述的可动态地调整面板温度的离子源，其中所述面板是通过弹簧及电子长度调整器而被抵靠所述腔室壁进行固持，其中所述电子长度调整器调整所述弹簧在承受载荷时的长度，且所述控制器使用所述电子长度调整器来变更所述压缩力。