[发明专利]可动态地调整面板温度的离子源及其设备

说明书

公开一种可动态地调整面板温度的离子源及其设备。本发明公开一种用于使离子源的面板的温度变化的系统及方法。所述面板是通过多个紧固件而被抵靠离子源的腔室壁进行固持。这些紧固件可包括拉伸弹簧或压缩弹簧。通过改变拉伸弹簧或压缩弹簧在承受载荷时的长度，可增大弹簧的弹簧力。弹簧力的此种增大会增大面板与腔室壁之间的压缩力，从而形成改善的导热性。在某些实施例中，通过电子长度调整器来调节弹簧的长度。此电子长度调整器与控制器进行通信，所述控制器输出指示弹簧的所需长度的电信号。本发明公开用于调整弹簧的长度的各种机构。

技术领域

本发明的实施例涉及用于动态地改变离子源的系统及方法，且更具体来说涉及用于动态地改变离子源的面板的温度的系统及方法。

背景技术

半导体装置的制作涉及多个离散且复杂的工艺。一种这样的工艺可利用可从离子源抽取的离子束。在离子源中，对馈入气体进行激励，以形成离子。然后，经由设置在面板(faceplate)上的抽取开孔从离子源抽取那些离子。在下游通过各种组件(包括电极、加速级与减速级、以及质量分析仪)对所述离子进行操纵。

在从离子源抽取来自馈入气体的离子时，这些离子中的一些离子可能落在面板上。另外，中性气体也可能落在面板上。这些离子及中性物可冷凝并形成沉积物。在某些实施例中，沉积物是沿着抽取开孔形成。在这些实施例中，经由抽取开孔而抽取的离子束的均匀度可受到影响。在其他实施例中，沉积物可在面板的前面上形成，从而导致电弧增加。

面板的温度及馈入气体的物质可为决定面板上沉积的量及速率的因素。举例来说，对于氟系物质(例如BF₃及GeF₄)，在较热的表面上，沉积可得到增强。相反地，对于一氧化碳气体，在较热的表面上，沉积可得到缩减。

因此，如果存在一种用于使面板的温度动态地变化的系统及方法，则将为有益的。此外，如果基于所利用的馈入气体的物质来执行动态变化，则将为有利的。

发明内容

本发明公开一种用于使离子源的面板的温度变化的系统及方法。所述面板是通过多个紧固件而被抵靠离子源的腔室壁进行固持。这些紧固件可包括拉伸弹簧或压缩弹簧。通过改变拉伸弹簧或压缩弹簧在承受载荷时的长度，可增大弹簧的弹簧力。弹簧力的此种增大会增大面板与腔室壁之间的压缩力，从而形成改善的导热性。在某些实施例中，通过电子长度调整器来调节弹簧的长度。此电子长度调整器与控制器进行通信，所述控制器输出指示弹簧的所需长度的电信号。本发明公开用于调整弹簧的长度的各种机构。

根据一个实施例，公开一种离子源。所述离子源包括：多个腔室壁；面板，使用压缩力被抵靠所述腔室壁而设置；以及一个或多个紧固件，用以将所述面板抵靠所述腔室壁进行固定；其中能够以电子方式使由所述紧固件施加到所述面板的所述压缩力变化。在某些实施例中，所述离子源包括间热式阴极。在某些实施例中，所述紧固件包括紧固装置及力调整器。在某些实施例中，所述力调整器包括弹簧及电子长度调整器，所述电子长度调整器调整所述弹簧在承受载荷时的长度。所述电子长度调整器可为：压电致动器；螺线管；气压缸；伺服马达及滚珠螺杆；以及伺服马达及臂，其中所述臂的近端附装到所述伺服马达的旋转部分。所述弹簧可为拉伸弹簧或压缩弹簧。

根据另一实施例，公开一种设备。所述设备包括离子源，所述离子源包括：多个腔室壁；面板，被抵靠所述腔室壁而设置；以及一个或多个紧固件，用以将所述面板抵靠所述腔室壁进行固定；以及控制器，与所述紧固件进行通信，以调整由所述紧固件施加到所述面板的压缩力。在某些实施例中，所述紧固件包括弹簧及电子长度调整器，所述电子长度调整器与所述控制器进行通信，以调整所述弹簧在承受载荷时的长度。在某些实施例中，所述控制器基于被引入到所述离子源中的馈入气体的物质来调整所述压缩力。在某些实施例中，所述控制器包括输入装置，且所述控制器基于从所述输入装置接收的输入来调整所述压缩力。