[发明专利]工具、作业管理装置、作业管理方法以及作业管理系统

说明书

提供一种带扭矩传感器的工具，该带扭矩传感器的工具适于在组装中需要大量的紧固接合部件、且可供接近紧固接合部件的空间狭小的流体控制装置那样的装置中的紧固接合部件的紧固作业，并且该工具的紧固扭矩的检测被自动化。工具(1)具备能够检测作用于批头(20)的、对紧固接合部件进行紧固的紧固扭矩的扭矩传感器(30)，扭矩传感器(30)当所检测的紧固扭矩超过设定阈值(Th)时开始进行紧固扭矩的测定，当所检测的紧固扭矩下降为低于设定阈值(Th)、且经过了设定时间(T1)时结束测定，并输出基于从测定开始起到测定结束为止的期间的测定数据而形成且包含测定时刻的扭矩关联数据。扭矩关联数据包含测定数据中的峰值。

技术领域

本发明涉及一种在包含大量的螺栓等紧固接合部件的装置中的紧固接合部件的紧固作业中使用的带扭矩传感器的工具、以及对使用该工具的紧固作业进行管理的作业管理装置、作业管理方法以及作业管理系统。

背景技术

在半导体制造工艺等各种制造工艺中，采用集成了开闭阀、调节器、质量流量控制器等各种流体设备的流体控制装置，以向工艺腔供给准确地计量出的工艺气体(例如，参照专利文献1)。

在上述那样的流体控制装置的组装工序中，需要进行庞大数量的内六角螺栓等紧固接合部件的紧固作业，且要求高的组装质量。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-003013号公报

专利文献2：日本特开2013-188858号公报

专利文献3：日本特开2015-229210号公报

专利文献4：日本特开2013-852号公报

专利文献5：日本特开2008-181344号公报

发明内容

发明要解决的问题

专利文献2公开了以下技术：利用来自设置于扭矩扳手的加速度传感器、陀螺仪传感器、地磁传感器等传感器的信号，来自动地检测进行了紧固的紧固接合部件的位置并对紧固位置进行管理。

专利文献3公开了以下技术：用摄像装置对利用工具进行的作业部位进行拍摄，基于其摄像图像数据和来自附加于工具的扭矩传感器等传感器的数据，来判断是否正常地进行了作业。

专利文献4公开了以下技术：在工件的上方设置摄像装置，在用紧固工具对工件实施紧固作业时，根据拍摄数据来检测赋予紧固工具的预先登记的识别标记是否存在，由此检测实施了紧固作业。

专利文献5公开了以下技术：在包含使用道具来进行的多个作业的产品的制造工序中，确定在产品的哪个位置进行了作业。具体地说，以接收到在一个所述作业完成时输出的完成信号为契机来拍摄多个图像，根据这些图像来检测表示作业完成位置的作业完成坐标，并获取表示应进行作业的位置即作业位置的作业坐标，基于作业完成坐标和作业坐标，来确定作业完成位置与关于多个作业中的各个作业的作业位置中的哪一个作业位置对应。

上述的流体控制装置在推进小型化、集成化，不仅螺栓等紧固构件也在短小化，而且流体设备之间的空间在狭小化。因此，使用在把手所具备的批头(bit)保持部安装有细长的批头的工具，来进行螺栓等紧固构件的紧固作业。例如，对于只有穿过流体设备间的狭小空间才能够接近那样的部位处的紧固接合部件的紧固作业，仅将工具的批头部分插入该狭小空间，一边适当地调整批头的姿势一边使批头顶端部与紧固接合部件咬合，对处于远离流体设备的位置的把手进行操作来使批头旋转。

然而，为了使这样的工具具有专利文献2所公开的紧固位置的检测功能，需要安装用于内置各种传感器、CPU等的外壳。对由把手和批头构成的工具安装用于内置各种传感器、CPU等的外壳较为困难，即使将外壳安装至了工具，外壳也将成为妨碍而使工具的操作性显著下降。除此而外，如果安装大量的传感器，则工具的制造成本变高。