[发明专利]柔性OLED装置的制造方法以及支承基板

说明书

根据本公开的柔性OLED装置的制造方法，准备层叠结构体(100)的工序，所述层叠结构体具备基座(10)、包括TFT层和OLED层的功能层区域(20)、位于基座与功能层区域之间并支承功能层区域的柔性膜(30)、以及位于柔性膜与基座之间并粘合于基座的释放层(12)。利用透过基座的剥离光(216)来照射释放层并从释放层上剥离柔性膜。释放层由铝和硅的合金形成。

技术领域

本公开涉及一种柔性OLED装置的制造方法以及支承基板。

背景技术

柔性显示器的典型例具备由聚酰亚胺等合成树脂形成的膜(以下，称为“树脂膜”)以及由树脂膜支承的TFT(薄膜晶体管：Thin Film Transistor)和OLED(有机发光二极管:Organic Light Emitting Diode)等元件。树脂膜作为柔性基板发挥作用。构成OLED的有机半导体层容易由于水蒸气而劣化，因此，柔性显示器通过阻气膜(密封用膜)密封。

可以使用在上表面形成有树脂膜的玻璃基座来进行柔性显示器的制造。玻璃基座在制造工序中作为将树脂膜的形状维持成平面状的支承体(载体)发挥作用。通过在树脂膜上形成TFT和OLED等元件以及阻气膜等，从而以支承在玻璃基座上的状态实现柔性OLED装置的结构。然后，柔性OLED装置从玻璃基座上被剥离，从而获得柔软性。能够将排列有TFT和OLED等元件的部分整体称为“功能层区域”。

专利文献1公开了一种利用紫外线激光(剥离光)来照射柔性基板与玻璃基座之间的界面用以将载置了OLED装置的柔性基板从玻璃基座上剥离的方法。在专利文献1所公开的方法中，在柔性基板与玻璃基座之间配置有非晶硅层。紫外线激光的照射使非晶硅层产生氢气，从而使柔性基板从玻璃基座上剥离。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2009/037797号

发明内容

本发明所要解决的技术问题

以往，由于在柔性基板中使用的树脂膜吸收紫外线，因此，没有特别地研究过剥离光照射对TFT元件和OLED元件产生的影响。根据本发明人的研究，发现了在剥离工序中使用的紫外线激光有可能使TFT元件和OLED元件劣化。

本公开提供一种能够解决上述课题的柔性OLED装置的新的制造方法以及支承基板。

用于解决技术问题的技术方案

本公开的柔性OLED装置的制造方法在例示的实施方式中，包括：准备层叠结构体的工序，所述层叠结构体具备基座、包括TFT层和OLED层的功能层区域、位于所述基座与所述功能层区域之间并支承所述功能层区域的柔性膜、以及位于所述柔性膜与所述基座之间并粘合于所述基座的释放层；以及利用透过所述基座的紫外激光照射所述释放层从而从所述释放层上剥离所述柔性膜的工序。所述释放层由铝和硅的合金形成。

在一些实施方式中，所述合金所含的硅的重量比率为4％以上且20％以下。

在一些实施方式中，所述释放层的线膨胀系数为所述柔性膜的线膨胀系数的30％以上且500％以下。

在一些实施方式中，所述释放层的厚度为100nm以上且5000nm以下。

在一些实施方式中，所述紫外激光的波长为300nm以上且360nm以下。

在一些实施方式中，所述柔性膜的厚度为5μm以上且20μm以下。

在一些实施方式中，准备所述层叠结构体的工序包括：通过溅射含有硅的铝靶从而在所述基座上形成所述释放层的工序；以及在所述释放层上形成所述柔性膜的工序。

在一些实施方式中，所述制造方法进一步包括：在从所述释放层上剥离所述柔性膜之后，从所述基座上去除所述释放层并回收的工序。