[发明专利]有机EL显示装置及其制造方法

说明书

本发明包括：基板(10)，其具有形成包含TFT(20)的驱动电路的表面；平坦化膜(30)，其通过覆盖驱动电路使基板(10)的表面平坦化；有机发光元件(40)，其具有：第一电极(41)，其形成在平坦化膜(30)的表面上，并与驱动电路连接；有机发光层(43)，其形成在第一电极(41)之上；以及第二电极(44)，其形成在有机发光层(43)之上。并且，平坦化膜(30)包含层叠在驱动电路之上的第一无机绝缘膜(31)以及有机绝缘膜(32)，有机绝缘膜(32)的表面形成为算术平面粗糙度Ra在50nm以下。

技术领域

本发明关于有机EL显示装置及其制造方法。

背景技术

近年来，在大型电视机、移动设备等有采用有机EL显示装置的趋势。有机EL显示装置通过如下方式构成：在绝缘基板之上的每个像素的区域内形成有使用作为开关元件、驱动元件等的有源元件的薄膜晶体管(以下，也称为TFT)的驱动电路，并在该驱动电路之上以与TFT连接的方式形成每个像素的有机发光元件。作为有机EL显示装置，具有以发光元件的正面为显示面的顶部发射型和以绝缘基板的背面作为显示面的底部发射型，在顶部发射型中，与有机发光元件的显示区域无关，而在其下方形成上述驱动电路。另一方面，在底部发射型中，在显示区域的周缘部形成驱动电路。因此，在形成驱动电路的空间小的移动设备等的小型有机EL显示装置中，经常使用顶部发射型、即在几乎整个显示区域的下方形成TFT等的驱动电路的构成。另一方面，底部发射型适用于在像素之间的空间具有一些余量的大型电视机等。

当驱动电路由TFT等形成时，其表面变得凹凸。由于在此基础上形成有机发光元件，因此通过用树脂材料等覆盖在驱动电路之上来形成平坦化膜。由此，可以进行表面平坦化。在以往，该平坦化膜是在形成TFT之后形成作为阻挡层的第一无机绝缘膜，并通过光刻工艺形成用于连接上述有机发光元件与TFT的接触孔，并且在此基础上形成感光性有机绝缘膜，并通过光刻工艺与湿法显影进行的接触孔的形成而得到。通过以此方式形成有机绝缘膜，由于TFT等的形成使表面的凹凸被平坦化。

专利文献1中公开了一种适用于有源矩阵型显示装置的每个像素的开关元件等的TFT及其制造方法，该TFT及其制造方法兼具有小的占用面积与优异的晶体管特性。这是在相同结构的TFT之间插入其中通过CMP处理而使表面的凹凸设为20nm以下的层间绝缘膜，以将多层TFT垂直地形成为一体的构成。即，在形成精细的TFT时，层间绝缘膜的表面的平坦度设为20nm以下以对应浅的焦点深度，因此不是用于在TFT之上形成有机发光元件的平坦化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2017-11173号公报

发明内容

本发明所要解决的技术问题

另一方面，当在视觉上观看有机EL显示装置时，存在由像素产生的颜色不均匀或亮度不均匀，从而视觉辨识特性降低的情况。本发明人对产生这种颜色不均或亮度不均的原因进行了重复深入研究，调查结果发现是由有机发光层的表面的平坦性的缺陷引起的。即，如上所述，在有机发光元件形成在形成有驱动电路的TFT等上，且形成在使表面平坦的平坦化膜上。该有机绝缘膜的表面大致平坦，这在以往不视为问题。然而，本发明人进行了重复深入研究，调查结果发现有机绝缘膜表面即使使用非感光性的树脂，但算术平均粗糙度Ra约为100～300nm，与此相比，以往通常使用的感光性树脂更加凹凸，当在其表面上形成有机发光元件的电极以及有机发光层时，有机发光层的表面也变为相同程度的表面粗糙度。当有机发光层的表面产生凹凸时，在微观上看到的光的前进方向不同。因此，当从正面观看显示画面时，在倾斜方向上前进的光难以被视觉辨认，且发现产生颜色不均以及/或亮度不均。

即使在显示装置的显示画面中没有例如灭灯区域、常亮区域或亮线等的明确的显示上的缺陷，但当产生如上所述的由亮度不均以及/或颜色不均引起的显示不均匀时，也存在显示品质降低的问题。