[发明专利]膜剥离机构及衬底裂断系统

权利要求书

1.一种膜剥离机构，其特征在于，其是将相对于在张设贴附在平板且圆环状的保持环的衬底保持带上贴附脆性材料衬底而成的被处理体，以覆盖所述脆性材料衬底的一主面全体且外周端部到达所述保持环的内周侧端部附近的方式贴附的保护膜从所述被处理体剥离者，且具备：

水平搬送机构，在水平面内的第1方向上搬送所述被处理体；及

膜固持机构，在所述被处理体处于以贴附有所述保护膜的侧为上表面的水平姿势的状态下，可相对于所述第1方向对称地固持所述保护膜的所述外周端部的一部分也就是被固持部；且

在所述膜固持机构固持所述被固持部的状态下，所述水平搬送机构将所述被处理体向所述第1方向中所述保护膜的与所述被固持部相反侧的部分接近所述被固持部的方向，也就是第1方向搬送，由此剥离所述保护膜。

2.根据权利要求1所述的膜剥离机构，其特征在于，

所述膜固持机构具备：

基部，固定设置；

爪部，以在与所述基部间可固持所述保护膜的所述被固持部的方式设置；及

可动部，使所述爪部相对于所述基部接近及远离；且

在通过所述可动部使所述爪部从所述基部朝铅直下方远离，且抵接在所述保持环的状态下，通过所述水平搬送机构使所述被处理体移动，由此，将所述爪部插入到所述保护膜与所述保护环间后，通过所述可动部使所述爪部接近所述基部，而使所述膜固持机构固持所述被固持部，且进行利用所述水平搬送机构将所述被处理体向所述第1方向的搬送，由此，从所述被处理体剥离所述保护膜。

3.根据权利要求2所述的膜剥离机构，其特征在于，

进一步具备膜检测机构，可检测所述膜固持机构对所述被固持部的固持。

4.根据权利要求3所述的膜剥离机构，其特征在于，

所述膜检测机构具备：

贯通孔，贯通所述基部的内部，在所述基部的与所述爪部对向的面开口；及

检测孔，在所述爪部中与贯通孔同轴设置；且

基于对所述贯通孔施加负压时所述负压值的变化，检测所述保护膜的所述被固持部被所述膜固持机构固持。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的膜剥离机构，其特征在于，

附设有收纳所述被处理体的收纳部，且

所述水平搬送机构将所述被处理体向所述收纳部搬送的方向为所述第1方向，

在所述膜固持机构固持所述被固持部的状态下，所述水平搬送机构向所述收纳部搬送所述被处理体，且在完成向所述收纳部收纳所述被处理体之前的期间，将所述保护膜从所述被处理体剥离。

6.根据权利要求5所述的膜剥离机构，其特征在于，

所述膜固持机构设为通过绕特定的旋动轴旋动，可在水平姿势与垂直姿势间进行姿势变换，

所述被固持部的固持是在所述膜固持机构处于所述垂直姿势的状态下进行，

在通过所述水平搬送机构将所述被处理体向所述第1方向搬送而将所述保护膜从所述被处理体剥离的中途，将所述膜固持机构从所述垂直姿势向所述水平姿势进行姿势变换，由此，将所述保护膜提起。