[发明专利]分光器、拍摄装置、扫描装置以及位置测定装置

权利要求书

1.一种分光器，其中，

具备压电部件，上述压电部件具有相互平行地对置的第一主面以及第二主面，且通过施加交流电压，使上述第一主面与上述第二主面之间的距离利用压电效应而周期性地变动，

上述压电部件使射入到该压电部件的光在上述第一主面与上述第二主面之间多重反射，并射出具有根据上述第一主面与上述第二主面之间的距离的变动而变动的波长的光。

2.根据权利要求1所述的分光器，其中，

上述分光器还具备设置于上述第一主面侧的第一反射膜、和设置于上述第二主面侧的第二反射膜，

上述压电部件使光在上述第一反射膜与上述第二反射膜之间多重反射。

3.根据权利要求2所述的分光器，其中，

上述第一反射膜以及上述第二反射膜分别包含被施加上述交流电压的电极膜。

4.根据权利要求3所述的分光器，其中，

上述第一反射膜以及上述第二反射膜分别包含反射率比上述电极膜高的高反射膜。

5.根据权利要求2所述的分光器，其中，

上述第一反射膜以及上述第二反射膜分别包含内侧电极膜和外侧电极膜，上述外侧电极膜被设置成在俯视上述第一主面或者上述第二主面的情况下包围上述内侧电极膜的外侧，

对上述内侧电极膜和上述外侧电极膜施加相互相反相位的交流电压。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的分光器，其中，

上述压电部件还具有相对于上述第一主面倾斜的第一倾斜面、和相对于上述第二主面倾斜的第二倾斜面，

上述第一倾斜面以及上述第二倾斜面在上述第一主面与上述第二主面之间配置在相互对置的位置，

上述压电部件将从上述第一倾斜面射入的光从上述第二倾斜面射出。

7.根据权利要求1～6中任意一项所述的分光器，其中，

上述压电部件包括进行了X切割的人工石英。

8.根据权利要求1～6中任意一项所述的分光器，其中，

上述压电部件包括进行了GT切割的人工石英。

9.一种拍摄装置，其中，具备：

权利要求1～8中任意一项所述的分光器；

光源，其向上述分光器的上述压电部件射入光；

光学系统，其将从上述分光器射出的光照射到对象物；以及

拍摄元件，其接收在上述对象物进行了反射的反射光。

10.一种扫描装置，其中，具备：

权利要求1～8中任意一项所述的分光器；

光源，其向上述分光器的上述压电部件射入光；以及

分光元件，其在空间上对从上述分光器射出的光进行分光。

11.一种位置测定装置，其中，具备：

第一分光器，其为权利要求1～8中任意一项所述的分光器，且使射入光透过；

光源，其向上述第一分光器的上述压电部件射入光；

分光元件，其将从上述第一分光器射出的光在空间上分光；

第二分光器，其为权利要求1～8中任意一项所述的分光器，且使从上述分光元件射出且在对象物进行了反射的反射光透过；以及

检测器，其接收透过了上述第二分光器的透过光。

12.根据权利要求11所述的位置测定装置，其中，

上述第二分光器的上述压电部件的振动频率比上述第一分光器的上述压电部件的振动频率高。