[发明专利]分光器、拍摄装置、扫描装置以及位置测定装置

说明书

本发明提供能够高速且高精度地控制光的波长的分光器、拍摄装置、扫描装置以及位置测定装置。分光器(1)具备压电部件(10)，该压电部件(10)具有相互平行地对置的第一主面(11)以及第二主面(12)，且通过施加交流电压，使第一主面与第二主面之间的距离利用压电效应而周期性地变动，压电部件使射入到该压电部件的光在第一主面与第二主面之间多重反射，并射出具有根据第一主面与第二主面之间的距离的变动而变动的波长的光。

技术领域

本发明涉及分光器、拍摄装置、扫描装置以及位置测定装置。

背景技术

以往，作为用于从宽频带的光提取所希望的波长的光的滤波器，已知有标准具。标准具是通过使光在平行且对置地设置的两个反射镜间多重反射来提取窄频带的波长的光的装置。

例如，在下述专利文献1公开了基于对射入的基本光的波长进行转换的波长转换元件与光学部件之间的间隙，提取所希望的波长的光的气隙标准具。

另外，在下述专利文献2公开了具备使射入光的偏振状态周期性地进行调制的光弹性调制(PEM：Photoelastic Modulator)元件和设置在该PEM元件的上侧以及下侧的多个偏振器以及反射镜的波长可变滤波器。在该波长可变滤波器中，射入光在上侧以及下侧的反射镜之间进行多重反射并经过PEM元件，从而射出所希望的波长的光。

专利文献1：日本特开2014－142422号公报

专利文献2：日本特开2009－265195号公报

若能够使用这样的标准具，对提取的波长进行可变控制，则例如能够构成进行波长扫描的光源。然而，在上述专利文献1所公开的构成中，根据波长转换元件与光学部件之间的距离而决定光的波长，所以为了控制波长需要使这些部件的至少一方机械移动。因此，通过该构成不能够高速地控制波长。

另一方面，在上述专利文献2所公开的构成中，通过PEM元件的形变控制各波长的偏振状态，所以在进行分光时需要具备多个偏振器。因此，部件数增加，这些部件的精密的调整变得困难。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而完成的，目的在于提供能够高速且高精度地控制光的波长的分光器、拍摄装置、扫描装置以及位置测定装置。

本发明的一侧面的分光器具备压电部件，该压电部件具有相互平行地对置的第一主面以及第二主面，且通过施加交流电压，使第一主面与第二主面之间的距离利用压电效应而周期性地变动，压电部件使射入到该压电部件的光在第一主面与第二主面之间多重反射，并射出具有根据第一主面与第二主面之间的距离的变动而进行变动的波长的光。

根据本发明，能够提供能够高速且高精度地控制光的波长的分光器、拍摄装置、扫描装置以及位置测定装置。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的分光器1的图。

图2是图1的II－II线剖视图。

图3是用于说明标准具提取所希望的波长成分的原理的图。

图4A是表示行波与反射波为同相位的情况下的光的合成的图。

图4B是表示行波与反射波为相反相位的情况下的光的合成的图。

图5是表示标准具的透光率与波长的关系的曲线图。

图6是表示石英片10的厚度为半波长的三倍的情况下的驻波的样子的图像。

图7A是表示分光器1中的透光率的模拟结果的图。

图7B是表示分光器1中的透光率的模拟结果的图。

图8是表示本发明的一实施方式的分光器1的变形例的图。