[发明专利]化学品过滤器固定装置在审
申请号: | 201880089585.5 | 申请日: | 2018-11-16 |
公开(公告)号: | CN111727498A | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 禹泳喆;尹炳春;宋勇益;金荣光 | 申请(专利权)人: | 系统科技公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B01D35/30;B01D46/00 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 习瑞恒;李盛泉 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 化学品 过滤器 固定 装置 | ||
1.一种化学品过滤器固定装置,用于固定过滤器组件(2),所述过滤器组件(2)由过滤器外壳(20)和过滤器头部(30)构成,所述过滤器外壳(20)内部配置有滤芯(10),所述过滤器头部(30)形成有多个连接部(31~34),所述多个连接部(31~34)连接于所述过滤器外壳(20)的开放的一侧,以使化学品流进或者排放,其特征在于,包括:
过滤器组件安装部(300、300-1、300-2),安装所述过滤器组件(2),以通过驱动部的驱动使所述过滤器外壳(20)和过滤器头部(30)的相互接触部分紧贴。
2.根据权利要求1所述的化学品过滤器固定装置,其特征在于,
所述过滤器组件安装部(300)包括:
过滤器头部安装架(340),安装所述过滤器头部(30),以使所述过滤器外壳(20)位于一侧,并且使所述过滤器头部(30)位于另一侧;
头部夹具(310、310-1),用于夹紧并结合所述过滤器头部(30)和过滤器外壳(20)。
3.根据权利要求2所述的化学品过滤器固定装置,其特征在于,
头部凸缘(36、36-1)和外壳凸缘(22、22-1)在彼此相向的面彼此面对的状态下安装在所述过滤器头部安装架(340),所述头部凸缘(36、36-1)沿着所述过滤器头部(30)的一侧端部周围形成,所述外壳凸缘(22、22-1)沿着所述过滤器外壳(20)的一侧端部周围形成;
所述头部夹具(310、310-1)向所述头部凸缘(36、36-1)和外壳凸缘(22、22-1)相向的面彼此紧贴的方向进行加压。
4.根据权利要求3所述的化学品过滤器固定装置,其特征在于,
所述头部凸缘(36、36-1)和外壳凸缘(22、22-1)分别形成为彼此相向的面的反面倾斜的楔形;
所述头部夹具(310、310-1)形成有具有倾斜的内侧面的结合槽(311a、312b、311-1a、312-1b),以分别紧贴于所述头部凸缘(36、36-1)和外壳凸缘(22、22-1)的倾斜的面。
5.根据权利要求3所述的化学品过滤器固定装置,其特征在于,
所述头部夹具(310、310-1)包括第一夹具(311、311-1)和第二夹具(312、312-1),所述第一夹具(311、311-1)和第二夹具(312、312-1)彼此相向地位于所述头部凸缘(36、36-1)和外壳凸缘(22、22-1)的周围;
具有夹具驱动部(320、320-1),所述夹具驱动部(320、320-1)用于使所述第一夹具(311、311-1)和第二夹具(312、312-1)以彼此接近的方向或者彼此远离的方向移动。
6.根据权利要求5所述的化学品过滤器固定装置,其特征在于,
所述第一夹具(311)和第二夹具(312)配置成以水平方向彼此相向进而以水平方向移动。
7.根据权利要求6所述的化学品过滤器固定装置,其特征在于,
具有至少一个过滤器外壳拆装模块(400),所述过滤器外壳拆装模块(400)从所述过滤器组件(2)分离所述过滤器外壳(20),或者结合从所述过滤器组件(2)分离的所述过滤器外壳(20)以包围所述滤芯(10);
具有夹具驱动部(320),在通过所述过滤器外壳拆装模块(400)移动所述过滤器外壳(20)时,所述夹具驱动部(320)以与所述过滤器外壳(20)的移动方向垂直的方向移动所述第一夹具(311)和第二夹具(312)。
8.根据权利要求5所述的化学品过滤器固定装置,其特征在于,
所述第一夹具(311-1)和第二夹具(312-1)配置成以上下方向相向,并且所述第一夹具(311-1)和第二夹具(312-1)中至少一个以上下方向移动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造