[发明专利]化学品过滤器固定装置在审
申请号: | 201880089585.5 | 申请日: | 2018-11-16 |
公开(公告)号: | CN111727498A | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 禹泳喆;尹炳春;宋勇益;金荣光 | 申请(专利权)人: | 系统科技公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B01D35/30;B01D46/00 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 习瑞恒;李盛泉 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 化学品 过滤器 固定 装置 | ||
本发明的目的在于提供一种化学品过滤器固定装置,在自动更换化学品过滤器的情况下,坚固地固定过滤器组件的外壳和头部,进而可防止化学品泄漏。用于实现该目的的本发明的化学品过滤器固定装置用于固定过滤器组件(2),所述过滤器组件(2)由过滤器外壳(20)和过滤器头部(30)构成,所述过滤器外壳(20)内部配置有滤芯(10),所述过滤器头部(30)形成有多个连接部(31~34),所述多个连接部(31~34)连接于所述过滤器外壳(20)的开放的一侧,以使化学品流进或者排放,所述化学品过滤器固定装置包括过滤器组件安装部(300、300‑1、300‑2),安装所述过滤器组件(2),以通过驱动部的驱动使所述过滤器外壳(20)和过滤器头部(30)的相互接触部分紧贴。
技术领域
本发明涉及化学品过滤器固定装置,更详细地说,涉及坚固地固定过滤器组件的外壳和头部可防止化学品泄漏的化学品过滤器固定装置。
背景技术
通常,在使用危险化学品的所有公司,诸如制造半导体、半导体设备、LCD、OLED的公司、制药公司及油漆公司等正在使用各种种类的化学品,而且安全供应这种化学品的方式也正在多样化。
这种化学品经过化学品过滤器进行供应,进而根据制造工艺的特性使用将杂质最少化的高纯度状态的化学品。
对于所述化学品过滤器,根据种类其形状及更换方法也有所不同,而且根据化学品的种类及所需高纯度状态保持基准更换周期也各不相同。
以往,为了将来自于化学品的损害最小化,工作人员穿戴化学防护服及防毒面具等的安全装备仔细的手动更换化学品过滤器。
然而,在工作人员手动更换化学品过滤器的情况下,在化学品过滤器更换工作时,可向外部泄漏化学品及烟雾(FUME),不仅对包括制造设备的周边环境造成污染和损坏、破损,而且包括工作人员在内的周围其他人员也可暴露在危险之中。
另外,在工作人员阀门操作失误的情况下,可发生过滤器内部的各种有毒化学品泄漏到外部的事故。
另外,由于是手动更换化学品过滤器,因此存在更换过滤器所需的工作工序数增加的问题。
作为在手动更换这种化学品过滤器的情况下用于固定化学品过滤器的装置,公开了韩国公开专利第10-2003-0043124号(2003.06.02.公开)。
发明内容
技术问题
本发明是为了解决上述各种问题而提出的,目的在于提供一种化学品过滤器固定装置,在自动更换化学品过滤器的情况下,坚固地固定过滤器组件的外壳和头部,进而可防止化学品泄漏。
技术方案
用于达到上述目的的本发明的化学品过滤器固定装置用于固定过滤器组件2,所述过滤器组件2由过滤器外壳20和过滤器头部30构成,所述过滤器外壳20内部配置有滤芯10,所述过滤器头部30形成有多个连接部31~34,所述多个连接部31~34连接于所述过滤器外壳20的开放的一侧,以使化学品流进或者排放,所述化学品过滤器固定装置包括过滤器组件安装部300、300-1、300-2,安装所述过滤器组件2,以通过驱动部的驱动使所述过滤器外壳20和过滤器头部30的相互接触部分紧贴。
所述过滤器组件安装部300可包括:过滤器头部安装架340,安装所述过滤器头部30,以使所述过滤器外壳20位于一侧,并且使所述过滤器头部30位于另一侧;头部夹具310、310-1,用于夹紧并结合所述过滤器头部30和过滤器外壳20。
头部凸缘36、36-1和外壳凸缘22、22-1在彼此相向的面彼此面对的状态下安装在所述过滤器头部安装架340,所述头部凸缘36、36-1沿着所述过滤器头部30的一侧端部周围形成,所述外壳凸缘22、22-1沿着所述过滤器外壳20的一侧端部周围形成;所述头部夹具310、310-1可向所述头部凸缘36、36-1和外壳凸缘22、22-1相向的面彼此紧贴的方向进行加压。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造