[发明专利]多配置数字光刻系统在审
| 申请号： | 201880090226.1 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111771165A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 赖建华;陈清昌;郭世豪;杨旭辉;王秀珍;刘易生;高家鸿 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 配置 数字 光刻 系统 | ||
1.一种系统，所述系统包含：
第一图像投影设备，其中所述第一图像投影设备能够将基板曝光至第一分辨率；
第二图像投影设备，其中所述第二图像投影设备能够将所述基板曝光至与所述第一分辨率不同的第二分辨率；和
基板支撑件，所述基板支撑件是能够移动的，以将所述基板定位在所述第一图像投影设备和所述第二图像投影设备下方。
2.如权利要求1所述的系统，其中所述第一分辨率是精细分辨率，并且所述第二分辨率是常规分辨率。
3.如权利要求1所述的系统，进一步包含设置在所述基板支撑件上的卡盘。
4.如权利要求3所述的系统，其中所述卡盘能够支撑多个基板。
5.如权利要求1所述的系统，其中至少一个基板是平板基板，并且至少一个基板不是平板基板。
6.如权利要求1所述的系统，其中所述第一图像投影设备包括DMD。
7.如权利要求1所述的系统，其中所述第一图像投影设备包括微型LED。
8.一种系统，所述系统包含：
第一图像投影设备，其中所述第一图像投影设备能够将基板曝光至第一分辨率；
第二图像投影设备，其中所述第二图像投影设备能够将所述基板曝光至与所述第一分辨率不同的第二分辨率；
基板支撑件，所述基板支撑件是能够移动的，以将所述基板定位在所述第一图像投影设备和所述第二图像投影设备下方，其中所述第一分辨率是精细分辨率，并且所述第二分辨率是常规分辨率；和
卡盘，所述卡盘设置在所述基板支撑件上。
9.如权利要求8所述的系统，其中所述卡盘能够支撑多个基板。
10.如权利要求9所述的系统，其中至少一个基板是平板基板，并且至少一个基板不是平板基板。
11.如权利要求10所述的系统，其中所述第一图像投影设备包括DMD。
12.如权利要求10所述的系统，其中所述第一图像投影设备包括微型LED。
13.一种系统，所述系统包含：
第一图像投影设备，其中所述第一图像投影设备能够将基板曝光至第一分辨率；
第二图像投影设备，其中所述第二图像投影设备能够将所述基板曝光至与所述第一分辨率不同的第二分辨率；和
基板支撑件，所述基板支撑件是能够移动的，以将所述基板定位在所述第一图像投影设备和所述第二图像投影设备下方，其中所述第一分辨率是精细分辨率，并且所述第二分辨率是常规分辨率，其中所述第一图像投影设备包括DMD。
14.如权利要求13所述的系统，进一步包含设置在所述基板支撑件上的卡盘。
15.如权利要求14所述的系统，其中所述卡盘能够支撑多个基板。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201880090226.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种数据传输方法和通信设备
- 下一篇：用于无线网络的多播业务区域管理和移动性
