[发明专利]有机EL装置及其制造方法

说明书

有机EL器件(100)具有基板(1)、驱动电路层(2)、第一无机保护层(2Pa)、有机平坦化层(2Pb)、有机EL元件层(3)、第二无机保护层(2Pa2)和TFE结构(10)。TFE结构具有第一无机屏障层(12)、有机屏障层(14)和第二无机屏障层(16)。从基板的法线方向观察时，在形成有第一无机保护层的区域内形成有有机平坦化层，在形成有有机平坦化层的区域内配置有有机EL元件，TFE结构的外缘与引出配线(32)交叉，且存在于有机平坦化层的外缘与第一无机保护层的外缘之间，在引出配线上的第一无机保护层与第一无机屏障层直接接触的部分，第一无机屏障层的、与引出配线的线宽方向平行的截面的形状的侧面的锥角θ(12)小于90°。有机平坦化层具有算术平均粗糙度Ra超过50nm的表面，第二无机保护层具有算术平均粗糙度Ra为50nm以下的表面。

技术领域

本发明涉及有机EL装置(例如，有机EL显示装置以及有机EL照明装置)及其制造方法。

背景技术

有机EL(ElectroLuminescence，电致发光)显示装置已开始实用化。有机EL显示装置的一个特征例举出：可以获得柔性显示装置。有机EL显示装置具有：针对每个像素至少一个有机EL元件(OrganicLightEmittingDiode：OLED，有机发光二极管)和控制向每个OLED供给的电流的至少一个TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)。以下，将有机EL显示装置称为OLED显示装置。如上所述，针对每个OLED，具有TFT等开关元件的OLED显示装置被称为有源矩阵型OLED显示装置。另外，形成TFT和OLED的基板被称为元件基板。

OLED(特别是有机发光层和阴极电极材料)受到水分的影响容易劣化，且容易产生显示不均。作为保护OLED免受水分并且提供不损害柔性的密封结构的技术，开发了薄膜密封(Thin Film Encapsulation，TFE)技术。薄膜密封技术是通过交替地层叠无机屏障层和有机屏障层来获得足够的水蒸气屏障性的薄膜。从OLED显示装置的耐湿可靠性的观点来看，作为薄膜密封结构的WVTR(Water Vapor Transmission Rate，水蒸气透过率)，通常要求为1×10^-4g/m²/天以下。

目前市面上出售的OLED显示装置所使用的薄膜密封结构具有厚度约5μm至约20μm的有机屏障层(高分子屏障层)。这样相对较厚的有机屏障层也起到使元件基板的表面平坦化的作用。然而，当有机屏障层厚时，存在OLED显示装置的弯曲性受到限制的问题。

此外，也存在量产性低的问题。上述的比较厚的有机屏障层使用喷墨法、微喷射法等印刷技术而形成。另一方面，无机屏障层使用薄膜成膜技术在真空(例如1Pa以下)气氛下形成。由于使用了印刷技术的有机屏障层的形成在大气中或氮气气氛中进行，无机屏障层的形成是在真空中进行，因此在形成薄膜密封结构的过程中，将元件基板从真空室取出放入，因而量产性低。

对此，例如，如专利文献1所公开的，开发了可以连续制造无机屏障层和有机屏障层的成膜装置。

此外，专利文献2中公开有如下薄膜密封结构：当从元件基板侧依次形成第一无机材料层、第一树脂材料和第二无机材料层时，第一树脂材料不均匀地分布在第一无机材料层的凸部(覆盖凸部的第一无机材料层)的周围。根据专利文献2，通过使第一树脂材料不均匀地分布在可能被第一无机材料层充分覆盖的凸部周围，从而抑制水分和氧气从该部分侵入。此外，第一树脂材料作为第二无机材料层的基底层发挥功能，因而可以适当地形成第二无机材料层，且可以适当地以期望的膜厚涂布第一无机材料层的侧面。第一树脂材料如下形成。将加热汽化后的雾状有机材料供给到维持在室温以下的温度的元件基板上，并且有机材料在基板上凝聚并液滴化。液滴化的有机材料由于毛细管现象或表面张力而在基板上移动，并且偏向存在于第一无机材料层的凸部的侧面与基板表面之间的边界部。之后，通过使有机材料固化，在边界部形成第一树脂材料。专利文献3中也公开了具有同样的薄膜封装结构的OLED显示装置。此外，专利文献4公开了用于OLED显示装置的制造的成膜装置。

现有技术文献