[发明专利]基板收纳容器

说明书

本发明提供基板收纳容器，其具备：容器主体(2)，具备筒状的壁部，所述壁部的一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部而另一端部封闭，由壁部的内表面形成能够收纳多张基板的、与容器主体开口部连通的基板收纳空间(27)；盖体，相对于容器主体开口部可装拆，能够封闭容器主体开口部；以及通气路(P)，能够连通基板收纳空间(27)和容器主体(2)的外部空间，通气路(P)形成于嵌入成型于容器主体(2)的通气路形成部件(245)。

技术领域

本发明涉及对由半导体晶片等构成的基板进行收纳、保管、输送和运输等时使用的基板收纳容器。

背景技术

作为收纳由半导体晶片构成的基板并在工厂内的工序中进行输送的基板收纳容器，具备容器主体和盖体的构成，以往已为公众所知(例如，参照专利文献1～专利文献4)。

容器主体的一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部。容器主体的另一端部具有封闭的筒状壁部。容器主体内形成基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围形成，能够收纳多张基板。盖体相对于开口周缘部可装拆，能够封闭容器主体开口部。侧面基板支撑部在基板收纳空间内成对地设置在壁部上。在盖体未封闭容器主体开口部时，侧面基板支撑部能够以相邻的基板彼此分开规定的间隔且并排的状态，支撑多张基板的边缘部。

盖体的部分且封闭了容器主体开口部时与基板收纳空间对置的部分设置有前保持架。在盖体封闭了容器主体开口部时，前保持架能够支撑多张基板的边缘部。另外，内侧基板支撑部以与前保持架成对的方式设置于壁部。内侧基板支撑部能够支撑多张基板的边缘部。盖体封闭了容器主体开口部时，内侧基板支撑部与前保持架协同动作支撑多张基板，在按规定的间隔使相邻的基板彼此分开且并排的状态下，保持多张基板。

现有技术文献

专利文献1：日本特表公报2016-538732号

专利文献2：日本专利公报第5524093号

专利文献3：日本专利公报第6057716号

专利文献4：日本专利公报第6271354号

以往的基板收纳容器中形成有能够连通基板收纳空间和容器主体的外部空间的通气路。通过通气路，氮气等惰性气体或者去除水分(1％以下)的干燥空气(以下，称为净化气体)从容器主体的外部向基板收纳空间流入，进行气体净化。

但是，市售商品的载入口，即，设置在容器主体的定位器或容器主体的外表面的向与通气路连通的换气孔送入净化气体的装置中与换气孔连接并用于注入净化气体的气体注入口的位置固定在规定的位置。因此，容器主体的换气孔需要设置在气体注入口的铅直上方并与其具有对置的位置关系。

另外，从气体注入口注入的气体，经由容器主体的换气孔，从位于容器内表面且位于气体注入口的铅直上方的气体排气口排出。形成气体排气口的位置有时在收纳到基板收纳空间的基板的铅直下方的位置(在上下方向上，与收纳到基板收纳空间中的基板重叠的位置)。此时，即使由盖体封闭基板收纳容器的容器主体开口部，将基板收纳空间与外部空气阻断，通常存在于收纳的多张基板间的间隙的气体被置换的效率非常差。另外，即使在盖体未封闭基板收纳容器的容器主体开口部而敞开的状态下进行气体净化，此时，净化气体不能到达收纳的多张基板间的间隙，不能通过气体净化进行气体置换。

另外，即使想要将用于使净化气体流向收纳的多张基板间的间隙的部件通过后安装方式安装到容器主体的外表面或者内表面，但由于严格的尺寸限制，设计幅度变窄，另外，成为具有密封圈等的复杂构造，因此增大装配时的负担。

发明内容

本发明目的在于提供能够将用于使净化气体流向收纳的多张基板间的间隙的简单结构的部件容易通过后安装方式安装到容器主体上的基板收纳容器。