[发明专利]光脉冲展宽器、激光装置及电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种光脉冲展宽器，其具备：

分离光学元件，其将入射到第一面的紫外线区域的脉冲激光分离为第一透射光和第一反射光；

反射光学系统，其引导所述第一反射光，使所述第一反射光入射到所述分离光学元件的与所述第一面相反侧的第二面；以及

保持部件，其具有开口面积比包含在所述反射光学系统中的反射光学元件的反射面的面积小的贯通孔，配置在所述反射光学元件的背面侧，保持所述反射光学元件；

壳体，其收容所述反射光学系统和所述保持部件，并具有开口；

冷却板，其配置在入射到所述反射光学元件的脉冲激光的光路轴的延长线上的、所述开口的位置；以及

冷却机构，其冷却所述冷却板，

所述冷却板由铜系合金构成，该铜系合金是对紫外线的吸收率比作为所述壳体的材料的铝高的材料。

2.根据权利要求1所述的光脉冲展宽器，其中，

所述贯通孔的开口部的第一方向的开口宽度比与所述第一方向垂直的第二方向的开口宽度长。

3.根据权利要求2所述的光脉冲展宽器，其中，

所述开口部是大致长方形。

4.根据权利要求3所述的光脉冲展宽器，其中，

所述开口部是角部具有圆角的大致长方形。

5.根据权利要求2所述的光脉冲展宽器，其中，

所述开口部为大致椭圆形。

6.根据权利要求2所述的光脉冲展宽器，其中，

所述贯通孔是长孔。

7.根据权利要求1所述的光脉冲展宽器，其中，

所述反射光学系统包括多个反射光学元件，

在所述多个反射光学元件各自的背面侧配置有所述保持部件。

8.根据权利要求7所述的光脉冲展宽器，其中，

保持所述多个反射光学元件所包含的第一反射光学元件的所述保持部件具有第一开口部，该第一开口部的第一方向的开口宽度比与所述第一方向垂直的第二方向的开口宽度长，

保持所述多个反射光学元件所包含的第二反射光学元件的所述保持部件具有第二开口部，该第二开口部的第三方向的开口宽度比与所述第三方向垂直的第四方向的开口宽度长，

所述第一方向和所述第三方向是大致相同的方向。

9.根据权利要求1所述的光脉冲展宽器，其中，

所述冷却机构包含形成于所述冷却板的冷却介质流路。

10.根据权利要求1所述的光脉冲展宽器，其中，

所述冷却机构包含形成于所述冷却板的散热片。

11.根据权利要求1所述的光脉冲展宽器，其中，

所述冷却板包含光衰减器，该光衰减器具有第1槽和第2槽，

所述第1槽和第2槽各自的宽度越往里侧越窄，所述第1槽和第2槽彼此的间隔越往里侧越窄。