[发明专利]有机EL器件及其制造方法

说明书

有机EL器件(100)具有基板(1)、驱动电路层(2)、第一无机保护层(2Pa)、有机平坦化层(2Pb)、有机EL元件层(3)以及TFE结构(10)。TFE结构具有第一无机阻挡层(12)、有机阻挡层(14)和第二无机阻挡层(16)。从基板的法线方向观察时，在形成有第一无机保护层的区域内形成有有机平坦化层，在形成有有机平坦化层的区域内配置有有机EL元件，TFE结构的外缘与引出配线(32)交叉，且存在于有机平坦化层的外缘与第一无机保护层的外缘之间，第一无机保护层与第一无机阻挡层在引出配线上直接接触的部分，第一无机阻挡层的与引出配线的线宽方向平行的截面的形状的侧面的锥角θ(12)小于90°。有机平坦化层具有算术平均粗糙度Ra为50nm以下的表面。

技术领域

本发明涉及一种有机EL器件(例如有机EL显示装置及有机EL照明装置)及其制造方法。

背景技术

有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示装置开始实用化。有机EL显示装置的特征之一可以举出可获得柔性显示装置这一点。有机EL显示装置针对每个像素具有至少一个有机EL元件(Organic Light Emitting Diode：OLED)和控制向各OLED供给的电流的至少一个TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶体管)。以下，将有机EL显示装置称为OLED显示装置。这样，针对每个OLED具有TFT等开关元件的OLED显示装置被称为有源矩阵型OLED显示装置。此外，将形成有TFT和OLED的基板称为元件基板。

OLED(特别是有机发光层及阴极电极材料)受到水分的影响而容易劣化，容易产生显示不均。作为提供保护OLED免受水分影响并且不损坏柔软性的密封结构的技术，开发了薄膜密封(Thin Film Encapsulation：TFE)技术。薄膜密封技术通过交替层叠无机阻挡层和有机阻挡层，利用薄膜来得到充分的水蒸气阻挡性。从OLED显示装置的耐湿可靠性的观点来看，作为薄膜密封结构的WVTR(Water Vapor Transmission Rate：水蒸气透过率)，通常要求1×10^-4g/m²/day以下。

现在市售的OLED显示装置中使用的薄膜密封结构具有厚度约5um～约20um的有机阻挡层(高分子阻挡层)。这样，比较厚的有机阻挡层也起到使元件基板的表面平坦化的作用。但是，当有机阻挡层厚时，存在OLED显示装置的弯曲性受到限制这样的问题。

此外，也存在量产性低的问题。上述的比较厚的有机阻挡层使用喷墨法、微喷射法等印刷技术形成。另一方面，无机阻挡层使用薄膜成膜技术在真空(例如1Pa以下)气氛下形成。由于使用印刷技术的有机阻挡层的形成在大气中或氮气气氛中进行，无机阻挡层的形成在真空中进行，因此，在形成薄膜密封结构的过程中，将元件基板从真空室取出放入，量产性低。

因此，例如，如专利文献1所公开的，开发了可以连续制造无机阻挡层和有机阻挡层的成膜装置。

此外，在专利文献2中公开了一种薄膜密封结构，在从元件基板侧依次形成第一无机材料层、第一树脂材料以及第二无机材料层时，使第一树脂材料在第一无机材料层的凸部(覆盖凸部的第一无机材料层)的周围不均匀地分布。根据专利文献2，通过使第一树脂材料可能未被第一无机材料层充分覆盖的某个凸部的周围不均匀地分布来抑制水分、氧从该部分侵入。此外，通过使第一树脂材料作为第二无机材料层的基底层发挥功能，第二无机材料层适当地成膜，并可以以期望的膜厚适当地覆盖第一无机材料层的侧面。第一树脂材料如下那样形成。将加热气化了的雾状的有机材料供给到维持在室温以下的温度的元件基板上，有机材料在基板上冷凝而滴状化。滴状化的有机材料通过毛细管现象或表面张力，在基板上移动，在第一无机材料层的凸部的侧面与基板表面的边界部不均匀地分布。然后，通过使有机材料固化在边界部形成第一树脂材料。专利文献3中公开了也具有同样的薄膜密封结构的OLED显示装置。此外，专利文献4公开了用于OLED显示装置的制造的成膜装置。

现有技术文献

专利文献