[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，具备：基板载置部（53），载置基板（10）；加热机构（2），与所述基板载置部以分离的方式设置，具有红外光灯（22），执行从所述红外光灯照射红外光而将所述基板加热的加热处理；以及雾喷射部（1），执行雾喷射处理，在所述雾喷射处理中，向所述基板的表面喷射将原料溶液雾化而得到的原料雾（MT），从所述红外光灯照射的红外光的波长与所述原料雾的吸收波长区域不重复，通过同时执行基于所述加热机构的所述加热处理和基于所述雾喷射部的所述雾喷射处理，从而在所述基板的表面形成薄膜，从所述红外光灯照射的红外光的波长被设定为700nm~900nm。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，还具备：成膜室（6A），在内部收容所述基板、所述加热机构以及所述雾喷射部。

3.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，还具备：成膜室（6B），在内部收容所述基板及所述雾喷射部，所述加热机构配置于所述成膜室外，经由所述成膜室执行所述加热处理，所述成膜室将相对于从所述加热机构的所述红外光灯照射的红外光而言透射性优异的红外光透射材料作为构成材料。

4.根据权利要求3所述的成膜装置，其中，所述红外光透射材料包括石英玻璃、硼硅酸玻璃、蓝宝石、氟化钙、氟化钡、氟化镁、以及氟化锂中的至少一种。