[发明专利]能量计测装置和准分子激光装置

权利要求书

1.一种能量计测装置，其计测从激光振荡器输出的激光的能量，其中，所述能量计测装置具有：

第1分束器，其以第1入射角被配置于从所述激光振荡器输出的激光的第1光路上，反射通过所述第1光路的激光的一部分而生成第2光路；

第2分束器，其以第2入射角被配置于所述第2光路上，反射通过所述第2光路的激光的一部分而生成第3光路；

第3分束器，其以第3入射角被配置于所述第3光路上，反射通过所述第3光路的激光的一部分而生成第4光路；

第4分束器，其以第4入射角被配置于所述第4光路上，反射通过所述第4光路的激光的一部分而生成第5光路；以及

能量传感器，其被配置于所述第5光路上或经由所述第5光路的光路上，

所述第1入射角和所述第2入射角相等，

所述第3入射角和所述第4入射角相等，

所述第1分束器的第1入射面和所述第2分束器的第2入射面位于第1平面上，

所述第3分束器的第3入射面和所述第4分束器的第4入射面位于与所述第1平面垂直的第2平面上，

所述第1分束器使所述第1光路在所述第1平面中向第1方向折曲而生成所述第2光路，

所述第2分束器使所述第2光路在所述第1平面中向所述第1方向折曲而生成所述第3光路，

所述第3分束器使所述第3光路在所述第2平面中向第2方向折曲而生成所述第4光路，

所述第4分束器使所述第4光路在所述第2平面中向所述第2方向折曲而生成所述第5光路。

2.根据权利要求1所述的能量计测装置，其中，

所述第1分束器、所述第2分束器、所述第3分束器和所述第4分束器分别是非涂层的分束器。

3.根据权利要求1所述的能量计测装置，其中，

所述第1分束器、所述第2分束器、所述第3分束器和所述第4分束器分别由相同的材质构成。

4.根据权利要求3所述的能量计测装置，其中，

所述相同的材质是氟化钙。

5.根据权利要求1所述的能量计测装置，其中，

所述第1入射角、所述第2入射角、所述第3入射角和所述第4入射角分别相等。

6.根据权利要求5所述的能量计测装置，其中，

所述第1入射角、所述第2入射角、所述第3入射角和所述第4入射角分别是45度。

7.根据权利要求1所述的能量计测装置，其中，

所述第1分束器被配置成，使从所述激光振荡器输出的激光的偏振成分中的最大的偏振成分，作为P偏振光进行反射。

8.根据权利要求1所述的能量计测装置，其中，

所述能量计测装置还具有透镜，该透镜被配置于所述第4分束器与所述能量传感器之间。

9.根据权利要求1所述的能量计测装置，其中，

所述能量计测装置还具有扩散板，该扩散板被配置于所述第4分束器与所述能量传感器之间。

10.一种准分子激光装置，其具有：

振荡器，其振荡出激光；以及

权利要求1所述的能量计测装置。